chenzk
							
						 | 
						
							
							
								57d22c6c02
							
							add punk robot control
						 | 
						2 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								751e38538e
							
							1 add dummy rinse time check with linked dep recipe
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								8c6fa5e5e3
							
							1.Add new module station number
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								ad86e0d238
							
							add efem view flip select
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								dcd0d75f4c
							
							1 add robotcycle plating cell Module
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								a7b9c3e65c
							
							revise pick/place bug
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								787f73f714
							
							revise pick/place check precondition bug
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								e66519b753
							
							add EFEM Arm/Flip interlock
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								4807c5bf6d
							
							revise filp/noflip to down/upper
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								b16bfd18db
							
							update robot cycle add placeRobotFlip parameter
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								47ff767d1a
							
							update EFEM Place Routine with flip;
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								0a500c4757
							
							add EFEM platingcell pick/place
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								9ee6d50c0f
							
							1revise robot cycle
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								514c820d3b
							
							revise vent prewet bug
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								9c14dcc4d6
							
							Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/PunkHPX8
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								f26ddacf34
							
							add robot cycle
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								a22406bc3a
							
							update EFEM Signal tower
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								245d19bd28
							
							add parameter into RobotCycleParameter
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								3576d8b86f
							
							add robot cycle parameter
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								1416edfcd3
							
							MoveItem Add Flip;
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								cbbb2ca756
							
							add dqdr recipe
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								b5dc4f8d48
							
							add reservoir data
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								28abb1ea49
							
							add res/dep recipe
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								1a8b939006
							
							add ReservoirData class
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								53f8d577aa
							
							revise auto open vpw drip valve bug when recipe done
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								63c62852c4
							
							revise vpw auto open drip valve bug
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								0ae3f020eb
							
							add facility all
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								d8ddc42656
							
							add safety module all
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenkui
							
						 | 
						
							
							
								87a9223e04
							
							update vpw recipe recipe
						 | 
						3 月之前 | 
					
				
					
						
							
								   chenzk
							
						 | 
						
							
							
								d2a498218c
							
							1revise facility device
						 | 
						3 月之前 |