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Rama: master
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绍兴中芯
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Virgo（六台，五台广川EFEM，一台自制efem）
yuanshaohua ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes
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IO List_Virgo A_V2.2_2023_3_15.xlsx ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes
VirgoRT_Setup_v1.0.98.5.exe ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes
VirgoUI_Setup_v1.0.98.5.exe ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes
机台信息清单.txt ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes
稷以公司机台管理.xlsx ea7bd0ab1b 客户现场Virgo软件信息上传 hace 1 mes