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更新Mars119机台信息

yuanshaohua 2 weeks ago
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JETPlasma/客户/上海积塔/Mars102~113/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/合肥显耀/Mars114/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/无锡江阴长电/Metis117&124/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/浙江美迪凯/Metis101/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/深圳经纬开物/Metis118&121/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/1.0.0.10升级SOP.docx


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/1.0.1.0升级内容.docx

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+1.0.1.0升级内容
+ recipe报错后,recipe页面工艺步数会停留在报错的步数,当前步时间会一直增加。主页面的step步数会停留在报错步数,elapsed的时间会记录从工艺开始到报错的时间
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+ Log的倒序改成正序
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+ wafer history无法搜索lot id,测试发现检索是根据job id检索的,已经修改根据lot id检索
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+ 4、Config的role配置read的时候,operation/overview页面的按钮页面置灰
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+ 5、EAP断联后以Alarm log的形式弹窗提示  
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+ 6、LP error的时候,在不影响正常工艺的条件下,红灯变亮,蜂鸣器变响
+ 7、buzzer off按钮只生效一下。蜂鸣器响,Buzzer off后,在不关闭软件的前提下,下次报错蜂鸣器会正常响
+ 8、sequence 只勾PMA2出现wafer不进腔的bug,修改改bug
+ 9、由offline切到online的时候判断气体和射频的状态,如果为on,则置位off
+ 10、修改117错误给到开关门信号的问题,修改vent逻辑
+ 11、更改原来打开CPU配置的时候,RT资源太大问题,使用另一种监控来监控CPU的占用率
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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/Jet Plasma Mars Software Update Record.xlsx


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/mars20020241011_积塔_release_Mars200_ATM_Setup_v1.0.0.10.exe


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/机台信息清单.txt


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars119/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/石家庄十三所/Mars120/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/苏州鲲游/Metis/稷以公司机台管理.xlsx


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JETPlasma/客户/长沙比亚迪/Mars115/稷以公司机台管理.xlsx