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深圳Mars机台信息更新

yuanshaohua 2 months ago
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268744de36

+ 8 - 0
JETPlasma/客户/深圳经纬开物/Metis118&121/2.0.0.19升级sop.docx

@@ -0,0 +1,8 @@
+2.0.0.19升级sop
+ 备份旧软件版本
+ 以管理员身份运行安装包,升级软件
+ 3、增加当腔体的GB_interlock灭的时候,腔体Home时初始化报错,不会变成idle的功能
+ 
+ 4、修改广川3P机台load叠斜片wafer之后,wafer不实时状态显示到上位机中的bug
+ 
+ 5、修改素珀2P机台,wafer突片后不上报alarm的bug

BIN
JETPlasma/客户/深圳经纬开物/Metis118&121/Jet Plasma Mars Software Update Record.xlsx


BIN
JETPlasma/客户/深圳经纬开物/Metis118&121/Mars200_20250427_efemdoorlog_叠斜evt_ATM_Setup_v2.0.0.19.exe