EfemPlacePMRoutine.cs 20 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129130131132133134135136137138139140141142143144145146147148149150151152153154155156157158159160161162163164165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244245246247248249250251252253254255256257258259260261262263264265266267268269270271272273274275276277278279280281282283284285286287288289290291292293294295296297298299300301302303304305306307308309310311312313314315316317318319320321322323324325326327328329330331332333334335336337338339340341342343344345346347348349350351352353354355356357358359360361362363364365366367368369370371372373374375376377378379380381382383384385386387388389390391392393394395396397398399400401402403404405406407408409410411412413414415416417418419420421422423424425426427428429430431432433434435436437438439440441442443444445446447448449450451452453454455456457458459460461462463464465466467468469470471472473474475476477478479480481482483484485486487488489490491492493494495496497498499500501502503504505506507508509510511512513514515516517518519520521522523524525526527528529530531532533534535536537538539540541542543544545546547548549550551552553554555556557558559560561562563564565566567568569570571572573574575576577578579580581582583584
  1. //using Aitex.Core.RT.Event;
  2. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  3. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  4. //using Aitex.Core.Util;
  5. //using Aitex.Sorter.Common;
  6. //using MECF.Framework.Common.Equipment;
  7. //using MECF.Framework.Common.Schedulers;
  8. //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
  9. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Robots;
  10. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.LogicUnits;
  11. //using StripRT.Equipments.PMs;
  12. //using StripRT.Equipments.Systems;
  13. //using System;
  14. //using System.Collections.Generic;
  15. //using System.Linq;
  16. //using System.Text;
  17. //using System.Threading.Tasks;
  18. //namespace StripRT.Equipments.Efems
  19. //{
  20. // class EfemPlacePMRoutine : ModuleRoutine, IRoutine
  21. // {
  22. // enum RoutineStep
  23. // {
  24. // QuerySourceState,
  25. // CheckBeforePlace,
  26. // PlaceWafer,
  27. // CheckBeforePlace2,
  28. // PlaceWafer2,
  29. // PlaceDelay,
  30. // PostTransfer,
  31. // PrepareTransfer,
  32. // PlaceRetract,
  33. // PlaceExtend,
  34. // LiftUp,
  35. // LiftDown,
  36. // }
  37. // private int _timeout;
  38. // private ModuleName _source;
  39. // private int _sourceSlot;
  40. // private Hand _hand;
  41. // private bool _autoHand;
  42. // private EfemModule _robotModule;
  43. // private ITransferTarget _target;
  44. // private int _postTransferTimeout;
  45. // public EfemPlacePMRoutine(EfemModule robotModule)
  46. // {
  47. // Module = "EfemRobot";
  48. // Name = "PlacePM";
  49. // _robotModule = robotModule;
  50. // }
  51. // public Result Start(params object[] objs)
  52. // {
  53. // _timeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PlaceTimeout");
  54. // Reset();
  55. // if (_autoHand)
  56. // {
  57. // if (WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  58. // {
  59. // _hand = Hand.Blade1;
  60. // }
  61. // else if (WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  62. // {
  63. // _hand = Hand.Blade2;
  64. // }
  65. // else
  66. // {
  67. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, Robot both arm no wafer");
  68. // return Result.FAIL;
  69. // }
  70. // }
  71. // if (_hand == Hand.Both)
  72. // {
  73. // if (WaferManager.Instance.GetWafers(_source).Length < 2)
  74. // {
  75. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place use both arm, Only one slot at {_source}");
  76. // return Result.FAIL;
  77. // }
  78. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(_source, _sourceSlot))
  79. // {
  80. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, should no wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1}");
  81. // return Result.FAIL;
  82. // }
  83. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(_source, _sourceSlot + 1))
  84. // {
  85. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, should no wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1 + 1}");
  86. // return Result.FAIL;
  87. // }
  88. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)Hand.Blade1))
  89. // {
  90. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, Robot arm 1 no wafer");
  91. // return Result.FAIL;
  92. // }
  93. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)Hand.Blade2))
  94. // {
  95. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, Robot arm 2 no wafer");
  96. // return Result.FAIL;
  97. // }
  98. // }
  99. // else
  100. // {
  101. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(_source, _sourceSlot))
  102. // {
  103. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, should no wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1}");
  104. // return Result.FAIL;
  105. // }
  106. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)_hand))
  107. // {
  108. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place, Robot arm {(int)_hand + 1} no wafer");
  109. // return Result.FAIL;
  110. // }
  111. // }
  112. // Notify($"Start, Place to {_source} slot {_sourceSlot + 1}, by {_hand}");
  113. // return Result.RUN;
  114. // }
  115. // //public Result Start(params object[] objs)
  116. // //{
  117. // // return Start((ModuleName)objs[0], (int)objs[1], (Hand)objs[2]);
  118. // //}
  119. // public void Init(ModuleName source, int slot, Hand hand)
  120. // {
  121. // _autoHand = false;
  122. // _source = source;
  123. // _sourceSlot = slot;
  124. // _hand = hand;
  125. // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[source] as ITransferTarget;
  126. // if (ModuleHelper.IsPm(source))
  127. // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
  128. // }
  129. // public void Init(ModuleName source, int slot)
  130. // {
  131. // _autoHand = true;
  132. // _source = source;
  133. // _sourceSlot = slot;
  134. // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[source] as ITransferTarget;
  135. // if (ModuleHelper.IsPm(source))
  136. // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
  137. // }
  138. // public void Abort()
  139. // {
  140. // if (_target != null)
  141. // {
  142. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Place);
  143. // }
  144. // _target = null;
  145. // Notify("Abort");
  146. // }
  147. // public Result Monitor()
  148. // {
  149. // try
  150. // {
  151. // if (ModuleHelper.IsPm(_source))
  152. // {
  153. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, _hand, _sourceSlot, EnumTransferType.Pick, out _))
  154. // {
  155. // PrepareTransfer((int)RoutineStep.PrepareTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Place, _postTransferTimeout);
  156. // }
  157. // }
  158. // if (_hand == Hand.Both)
  159. // {
  160. // CheckBeforePlace((int)RoutineStep.CheckBeforePlace, _source, _sourceSlot, Hand.Blade1);
  161. // PlaceWafer((int)RoutineStep.PlaceWafer, _source, _sourceSlot, Hand.Blade1, _timeout);
  162. // CheckBeforePlace((int)RoutineStep.CheckBeforePlace2, _source, _sourceSlot + 1, Hand.Blade2);
  163. // PlaceWafer((int)RoutineStep.PlaceWafer2, _source, _sourceSlot + 1, Hand.Blade2, _timeout);
  164. // }
  165. // else
  166. // {
  167. // CheckBeforePlace((int)RoutineStep.CheckBeforePlace, _source, _sourceSlot, _hand);
  168. // RobotExtend((int)RoutineStep.PlaceExtend, _source, _sourceSlot, _hand, RobotPostionEnum.PlaceExtendUp, _timeout);
  169. // MovePinUp((int)RoutineStep.LiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _timeout);
  170. // RobotRetract((int)RoutineStep.PlaceRetract, _source, _sourceSlot, _hand, RobotPostionEnum.PlaceRetract, _timeout);
  171. // LiftPinDown((int)RoutineStep.LiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract, _timeout);
  172. // // PlaceWafer((int)RoutineStep.PlaceWafer, _source, _sourceSlot, _hand, _timeout);
  173. // }
  174. // if (ModuleHelper.IsPm(_source))
  175. // {
  176. // PostTransfer((int)RoutineStep.PostTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Place, _postTransferTimeout);
  177. // }
  178. // }
  179. // catch (RoutineBreakException)
  180. // {
  181. // return Result.RUN;
  182. // }
  183. // catch (RoutineFaildException)
  184. // {
  185. // return Result.FAIL;
  186. // }
  187. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Place);
  188. // Notify($"Finish, Place to {_source} slot {_sourceSlot + 1}, by {_hand}");
  189. // return Result.DONE;
  190. // }
  191. // public void CheckBeforePlace(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
  192. // {
  193. // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
  194. // {
  195. // Notify("Check place condition");
  196. // string reason = string.Empty;
  197. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, _hand, _sourceSlot, EnumTransferType.Place, out reason))
  198. // {
  199. // Stop(reason);
  200. // return false;
  201. // }
  202. // if (blade == Hand.Blade1)
  203. // {
  204. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
  205. // {
  206. // Stop("Source has wafer");
  207. // return false;
  208. // }
  209. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  210. // {
  211. // Stop("Blade 1 no wafer");
  212. // return false;
  213. // }
  214. // }
  215. // else if (blade == Hand.Blade2)
  216. // {
  217. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
  218. // {
  219. // Stop("Source has wafer");
  220. // return false;
  221. // }
  222. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  223. // {
  224. // Stop("Blade no wafer");
  225. // return false;
  226. // }
  227. // }
  228. // else
  229. // {
  230. // for (int i = 0; i < 2; i++)
  231. // {
  232. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot + i))
  233. // {
  234. // Stop("Source has wafer");
  235. // return false;
  236. // }
  237. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
  238. // {
  239. // Stop("Blade no wafer");
  240. // return false;
  241. // }
  242. // }
  243. // }
  244. // return true;
  245. // });
  246. // if (ret.Item1)
  247. // {
  248. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  249. // {
  250. // throw (new RoutineFaildException());
  251. // }
  252. // }
  253. // }
  254. // public void PlaceWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
  255. // {
  256. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  257. // {
  258. // Notify("robot start execute place command");
  259. // string reason;
  260. // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Place);
  261. // if (!_robotModule.RobotDevice.Place(chamber, hand, slot, out reason))
  262. // {
  263. // Stop(reason);
  264. // return false;
  265. // }
  266. // return true;
  267. // }, () =>
  268. // {
  269. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  270. // return null;
  271. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  272. // return true;
  273. // return false;
  274. // }, timeout * 1000);
  275. // if (ret.Item1)
  276. // {
  277. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  278. // {
  279. // throw (new RoutineFaildException());
  280. // }
  281. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  282. // {
  283. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  284. // throw (new RoutineFaildException());
  285. // }
  286. // else
  287. // throw (new RoutineBreakException());
  288. // }
  289. // }
  290. // public void PostTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  291. // {
  292. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  293. // {
  294. // Notify($"{pm.Name} post transfer ");
  295. // if (!pm.PostTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
  296. // {
  297. // Stop(reason);
  298. // return false;
  299. // }
  300. // return true;
  301. // }, () =>
  302. // {
  303. // if (pm.IsError)
  304. // {
  305. // return null;
  306. // }
  307. // return pm.IsReady;
  308. // }, timeout * 1000);
  309. // if (ret.Item1)
  310. // {
  311. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  312. // {
  313. // Stop($"{pm.Name} error");
  314. // throw (new RoutineFaildException());
  315. // }
  316. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  317. // {
  318. // Stop($"{pm.Name} post transfer timeout, over {timeout} seconds");
  319. // throw (new RoutineFaildException());
  320. // }
  321. // else
  322. // throw (new RoutineBreakException());
  323. // }
  324. // }
  325. // public void PrepareTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  326. // {
  327. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  328. // {
  329. // Notify($"{pm.Name} Prepare transfer ");
  330. // if (!pm.PrepareTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
  331. // {
  332. // Stop(reason);
  333. // return false;
  334. // }
  335. // return true;
  336. // }, () =>
  337. // {
  338. // if (pm.IsError)
  339. // {
  340. // return null;
  341. // }
  342. // return pm.IsReady;
  343. // }, timeout * 1000);
  344. // if (ret.Item1)
  345. // {
  346. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  347. // {
  348. // Stop($"{pm.Name} error");
  349. // throw (new RoutineFaildException());
  350. // }
  351. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  352. // {
  353. // Stop($"{pm.Name} Prepare transfer timeout, over {timeout} seconds");
  354. // throw (new RoutineFaildException());
  355. // }
  356. // else
  357. // throw (new RoutineBreakException());
  358. // }
  359. // }
  360. // public void RobotExtend(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  361. // {
  362. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  363. // {
  364. // Notify("robot execute goto command");
  365. // string reason;
  366. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  367. // {
  368. // Stop(reason);
  369. // return false;
  370. // }
  371. // return true;
  372. // }, () =>
  373. // {
  374. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  375. // return null;
  376. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  377. // return true;
  378. // return false;
  379. // }, timeout * 1000);
  380. // if (ret.Item1)
  381. // {
  382. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  383. // {
  384. // Stop(string.Format("failed."));
  385. // throw (new RoutineFaildException());
  386. // }
  387. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  388. // {
  389. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  390. // throw (new RoutineFaildException());
  391. // }
  392. // else
  393. // throw (new RoutineBreakException());
  394. // }
  395. // }
  396. // public void RobotRetract(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  397. // {
  398. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  399. // {
  400. // Notify("robot execute goto command");
  401. // string reason;
  402. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  403. // {
  404. // Stop(reason);
  405. // return false;
  406. // }
  407. // return true;
  408. // }, () =>
  409. // {
  410. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  411. // return null;
  412. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  413. // return true;
  414. // return false;
  415. // }, timeout * 1000);
  416. // if (ret.Item1)
  417. // {
  418. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  419. // {
  420. // Stop(string.Format("failed."));
  421. // throw (new RoutineFaildException());
  422. // }
  423. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  424. // {
  425. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  426. // throw (new RoutineFaildException());
  427. // }
  428. // else
  429. // throw (new RoutineBreakException());
  430. // }
  431. // }
  432. // public void MovePinUp(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  433. // {
  434. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  435. // {
  436. // Notify($"{pm.Name} lift pin up ");
  437. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveUp(out string reason))
  438. // {
  439. // Stop(reason);
  440. // return false;
  441. // }
  442. // return true;
  443. // }, () =>
  444. // {
  445. // if (pm.ChamberLiftPin.IsUp)
  446. // return true;
  447. // return false;
  448. // }, timeout * 1000);
  449. // if (ret.Item1)
  450. // {
  451. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  452. // {
  453. // throw (new RoutineFaildException());
  454. // }
  455. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  456. // {
  457. // Stop($"{pm.Name} move lift pin up timeout, over {timeout} seconds");
  458. // throw (new RoutineFaildException());
  459. // }
  460. // else
  461. // throw (new RoutineBreakException());
  462. // }
  463. // }
  464. // public void LiftPinDown(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  465. // {
  466. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  467. // {
  468. // Notify($"{pm.Name} lift pin down");
  469. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveDown(out string reason))
  470. // {
  471. // Stop(reason);
  472. // return false;
  473. // }
  474. // return true;
  475. // }, () =>
  476. // {
  477. // if (pm.ChamberLiftPin.IsDown)
  478. // return true;
  479. // return false;
  480. // }, timeout * 1000);
  481. // if (ret.Item1)
  482. // {
  483. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  484. // {
  485. // throw (new RoutineFaildException());
  486. // }
  487. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  488. // {
  489. // Stop($"{pm.Name} move down lift pin timeout, over {timeout} seconds");
  490. // throw (new RoutineFaildException());
  491. // }
  492. // else
  493. // throw (new RoutineBreakException());
  494. // }
  495. // }
  496. // }
  497. //}