EfemPickAndPlacePMRoutine.cs 21 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129130131132133134135136137138139140141142143144145146147148149150151152153154155156157158159160161162163164165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244245246247248249250251252253254255256257258259260261262263264265266267268269270271272273274275276277278279280281282283284285286287288289290291292293294295296297298299300301302303304305306307308309310311312313314315316317318319320321322323324325326327328329330331332333334335336337338339340341342343344345346347348349350351352353354355356357358359360361362363364365366367368369370371372373374375376377378379380381382383384385386387388389390391392393394395396397398399400401402403404405406407408409410411412413414415416417418419420421422423424425426427428429430431432433434435436437438439440441442443444445446447448449450451452453454455456457458459460461462463464465466467468469470471472473474475476477478479480481482483484485486487488489490491492493494495496497498499500501502503504505506507508509510511512513514515516517518519520521522523524525526527528529530531532533534535536537538539540541542543544545546547548549550551552553554555556557558559560561562563564565566567568569570571572573574575576577578579580581582583584585586587588589590591592593594595596597598599600601602603604605606607608609610611612613614615616
  1. //using Aitex.Core.RT.Event;
  2. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  3. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  4. //using Aitex.Core.Util;
  5. //using Aitex.Sorter.Common;
  6. //using MECF.Framework.Common.Equipment;
  7. //using MECF.Framework.Common.Schedulers;
  8. //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
  9. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Robots;
  10. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.LogicUnits;
  11. //using StripRT.Equipments.PMs;
  12. //using StripRT.Equipments.Systems;
  13. //using System;
  14. //using System.Collections.Generic;
  15. //using System.Linq;
  16. //using System.Text;
  17. //using System.Threading.Tasks;
  18. //namespace StripRT.Equipments.Efems
  19. //{
  20. // class EfemPickAndPlacePMRoutine : ModuleRoutine, IRoutine
  21. // {
  22. // enum RoutineStep
  23. // {
  24. // CheckBeforePick,
  25. // PickWafer,
  26. // CheckBeforePlace,
  27. // PlaceWafer,
  28. // PostTransfer,
  29. // PickExtend,
  30. // PickRetract,
  31. // PlaceExtend,
  32. // PlaceRetract,
  33. // PickLiftUp,
  34. // PickLiftDown,
  35. // PlaceLiftUp,
  36. // PlaceLiftDown,
  37. // }
  38. // private EfemModule _robotModule;
  39. // private ITransferTarget _target;
  40. // private Hand _pickBlade;
  41. // private Hand _placeBlade;
  42. // private ModuleName _targetModule;
  43. // private int _pickSlot;
  44. // private int _placeSlot;
  45. // private int _pickTimeout;
  46. // private int _placeTimeout;
  47. // private int _postTransferTimeout;
  48. // public EfemPickAndPlacePMRoutine(EfemModule robotModule)
  49. // {
  50. // Module = "EfemRobot";
  51. // Name = "Pick";
  52. // _robotModule = robotModule;
  53. // }
  54. // public Result Start(params object[] objs)
  55. // {
  56. // _pickTimeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PickTimeout");
  57. // _placeTimeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PlaceTimeout");
  58. // if (ModuleHelper.IsPm(_targetModule))
  59. // {
  60. // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
  61. // }
  62. // Reset();
  63. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)_pickBlade))
  64. // {
  65. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick by {_pickBlade}, found wafer on");
  66. // return Result.FAIL;
  67. // }
  68. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)_placeBlade))
  69. // {
  70. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place by {_placeBlade}, no wafer on");
  71. // return Result.FAIL;
  72. // }
  73. // if (_pickSlot != _placeSlot)
  74. // {
  75. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_targetModule, _pickSlot))
  76. // {
  77. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick from {_targetModule} slot {_pickSlot + 1}, no wafer on");
  78. // return Result.FAIL;
  79. // }
  80. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(_targetModule, _placeSlot))
  81. // {
  82. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place to {_targetModule} slot {_placeSlot + 1}, found wafer on");
  83. // return Result.FAIL;
  84. // }
  85. // }
  86. // else
  87. // {
  88. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_targetModule, _placeSlot))
  89. // {
  90. // {
  91. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick&place from {_targetModule} slot {_placeSlot + 1}, no wafer on");
  92. // return Result.FAIL;
  93. // }
  94. // }
  95. // }
  96. // Notify($"Start, swap wafer,pick: {_pickBlade} slot {_pickSlot + 1}, place: {_placeBlade} slot {_placeSlot + 1}");
  97. // return Result.RUN;
  98. // }
  99. // public void Init(ModuleName targetModule, Hand pickBlade, int pickSlot, Hand placeBlade, int placeSlot)
  100. // {
  101. // _pickBlade = pickBlade;
  102. // _placeBlade = placeBlade;
  103. // _targetModule = targetModule;
  104. // _pickSlot = pickSlot;
  105. // _placeSlot = placeSlot;
  106. // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[targetModule] as ITransferTarget;
  107. // }
  108. // public void Abort()
  109. // {
  110. // if (_target != null)
  111. // {
  112. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
  113. // }
  114. // _target = null;
  115. // Notify("Abort");
  116. // }
  117. // public Result Monitor()
  118. // {
  119. // try
  120. // {
  121. // //CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade);
  122. // //PickWafer((int)RoutineStep.PickWafer, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, _pickTimeout);
  123. // //CheckBeforePlace((int)RoutineStep.CheckBeforePlace, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade);
  124. // //PlaceWafer((int)RoutineStep.PlaceWafer, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, _pickTimeout);
  125. // CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade);
  126. // RobotExtend((int)RoutineStep.PickExtend, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, RobotPostionEnum.PickExtendLow, _pickTimeout);
  127. // MovePinUp((int)RoutineStep.PickLiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _pickTimeout);
  128. // RobotRetract((int)RoutineStep.PickRetract, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, RobotPostionEnum.PickRetracted, _pickTimeout);
  129. // LiftPinDown((int)RoutineStep.PickLiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract, _pickTimeout);
  130. // RobotExtend((int)RoutineStep.PlaceExtend, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, RobotPostionEnum.PlaceExtendUp, _pickTimeout);
  131. // MovePinUp((int)RoutineStep.PlaceLiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _pickTimeout);
  132. // RobotRetract((int)RoutineStep.PlaceRetract, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, RobotPostionEnum.PlaceRetract, _pickTimeout);
  133. // LiftPinDown((int)RoutineStep.PlaceLiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract,_pickTimeout);
  134. // if (ModuleHelper.IsPm(_targetModule))
  135. // {
  136. // PostTransfer((int)RoutineStep.PostTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Place, _postTransferTimeout);
  137. // }
  138. // }
  139. // catch (RoutineBreakException)
  140. // {
  141. // return Result.RUN;
  142. // }
  143. // catch (RoutineFaildException)
  144. // {
  145. // return Result.FAIL;
  146. // }
  147. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
  148. // Notify($"complete, swap wafer,pick: {_pickBlade} slot {_pickSlot + 1}, place: {_placeBlade} slot {_placeSlot + 1}");
  149. // return Result.DONE;
  150. // }
  151. // public void CheckBeforePick(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
  152. // {
  153. // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
  154. // {
  155. // Notify("Check pick is enabled");
  156. // string reason = string.Empty;
  157. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, blade, slot, EnumTransferType.Pick, out reason))
  158. // {
  159. // Stop(reason);
  160. // return false;
  161. // }
  162. // if (blade == Hand.Blade1)
  163. // {
  164. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
  165. // {
  166. // Stop("Source no wafer");
  167. // return false;
  168. // }
  169. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  170. // {
  171. // Stop("Blade has wafer");
  172. // return false;
  173. // }
  174. // }
  175. // else if (blade == Hand.Blade2)
  176. // {
  177. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
  178. // {
  179. // Stop("Source no wafer");
  180. // return false;
  181. // }
  182. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  183. // {
  184. // Stop("Blade has wafer");
  185. // return false;
  186. // }
  187. // }
  188. // else
  189. // {
  190. // for (int i = 0; i < 2; i++)
  191. // {
  192. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot + i))
  193. // {
  194. // Stop("Source no wafer");
  195. // return false;
  196. // }
  197. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
  198. // {
  199. // Stop("Blade has wafer");
  200. // return false;
  201. // }
  202. // }
  203. // }
  204. // return true;
  205. // });
  206. // if (ret.Item1)
  207. // {
  208. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  209. // {
  210. // throw (new RoutineFaildException());
  211. // }
  212. // }
  213. // }
  214. // public void PickWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
  215. // {
  216. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  217. // {
  218. // Notify("robot execute pick command");
  219. // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, hand, slot, EnumTransferType.Pick);
  220. // string reason;
  221. // if (!_robotModule.RobotDevice.Pick(chamber, hand, slot, out reason))
  222. // {
  223. // Stop(reason);
  224. // return false;
  225. // }
  226. // return true;
  227. // }, () =>
  228. // {
  229. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  230. // return null;
  231. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  232. // return true;
  233. // return false;
  234. // }, timeout * 1000);
  235. // if (ret.Item1)
  236. // {
  237. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  238. // {
  239. // Stop(string.Format("failed."));
  240. // throw (new RoutineFaildException());
  241. // }
  242. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  243. // {
  244. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  245. // throw (new RoutineFaildException());
  246. // }
  247. // else
  248. // throw (new RoutineBreakException());
  249. // }
  250. // }
  251. // public void CheckBeforePlace(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
  252. // {
  253. // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
  254. // {
  255. // Notify("Check place condition");
  256. // string reason = string.Empty;
  257. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, blade, slot, EnumTransferType.Place, out reason))
  258. // {
  259. // Stop(reason);
  260. // return false;
  261. // }
  262. // if (blade == Hand.Blade1)
  263. // {
  264. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
  265. // {
  266. // Stop("Source has wafer");
  267. // return false;
  268. // }
  269. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  270. // {
  271. // Stop("Blade 1 no wafer");
  272. // return false;
  273. // }
  274. // }
  275. // else if (blade == Hand.Blade2)
  276. // {
  277. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
  278. // {
  279. // Stop("Source has wafer");
  280. // return false;
  281. // }
  282. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  283. // {
  284. // Stop("Blade no wafer");
  285. // return false;
  286. // }
  287. // }
  288. // else
  289. // {
  290. // for (int i = 0; i < 2; i++)
  291. // {
  292. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot + i))
  293. // {
  294. // Stop("Source has wafer");
  295. // return false;
  296. // }
  297. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
  298. // {
  299. // Stop("Blade no wafer");
  300. // return false;
  301. // }
  302. // }
  303. // }
  304. // return true;
  305. // });
  306. // if (ret.Item1)
  307. // {
  308. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  309. // {
  310. // throw (new RoutineFaildException());
  311. // }
  312. // }
  313. // }
  314. // public void PlaceWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
  315. // {
  316. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  317. // {
  318. // Notify("robot start execute place command");
  319. // string reason;
  320. // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, hand, slot, EnumTransferType.Place);
  321. // if (!_robotModule.RobotDevice.Place(chamber, hand, slot, out reason))
  322. // {
  323. // Stop(reason);
  324. // return false;
  325. // }
  326. // return true;
  327. // }, () =>
  328. // {
  329. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  330. // return null;
  331. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  332. // return true;
  333. // return false;
  334. // }, timeout * 1000);
  335. // if (ret.Item1)
  336. // {
  337. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  338. // {
  339. // throw (new RoutineFaildException());
  340. // }
  341. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  342. // {
  343. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  344. // throw (new RoutineFaildException());
  345. // }
  346. // else
  347. // throw (new RoutineBreakException());
  348. // }
  349. // }
  350. // public void PostTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  351. // {
  352. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  353. // {
  354. // Notify($"{pm.Name} post transfer ");
  355. // if (!pm.PostTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
  356. // {
  357. // Stop(reason);
  358. // return false;
  359. // }
  360. // return true;
  361. // }, () =>
  362. // {
  363. // if (pm.IsError)
  364. // {
  365. // return null;
  366. // }
  367. // return pm.IsReady;
  368. // }, timeout * 1000);
  369. // if (ret.Item1)
  370. // {
  371. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  372. // {
  373. // Stop($"{pm.Name} error");
  374. // throw (new RoutineFaildException());
  375. // }
  376. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  377. // {
  378. // Stop($"{pm.Name} post transfer timeout, over {timeout} seconds");
  379. // throw (new RoutineFaildException());
  380. // }
  381. // else
  382. // throw (new RoutineBreakException());
  383. // }
  384. // }
  385. // public void RobotExtend(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  386. // {
  387. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  388. // {
  389. // Notify("robot execute goto command");
  390. // string reason;
  391. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  392. // {
  393. // Stop(reason);
  394. // return false;
  395. // }
  396. // return true;
  397. // }, () =>
  398. // {
  399. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  400. // return null;
  401. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  402. // return true;
  403. // return false;
  404. // }, timeout * 1000);
  405. // if (ret.Item1)
  406. // {
  407. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  408. // {
  409. // Stop(string.Format("failed."));
  410. // throw (new RoutineFaildException());
  411. // }
  412. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  413. // {
  414. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  415. // throw (new RoutineFaildException());
  416. // }
  417. // else
  418. // throw (new RoutineBreakException());
  419. // }
  420. // }
  421. // public void RobotRetract(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  422. // {
  423. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  424. // {
  425. // Notify("robot execute goto command");
  426. // string reason;
  427. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  428. // {
  429. // Stop(reason);
  430. // return false;
  431. // }
  432. // return true;
  433. // }, () =>
  434. // {
  435. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  436. // return null;
  437. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  438. // return true;
  439. // return false;
  440. // }, timeout * 1000);
  441. // if (ret.Item1)
  442. // {
  443. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  444. // {
  445. // Stop(string.Format("failed."));
  446. // throw (new RoutineFaildException());
  447. // }
  448. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  449. // {
  450. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  451. // throw (new RoutineFaildException());
  452. // }
  453. // else
  454. // throw (new RoutineBreakException());
  455. // }
  456. // }
  457. // public void MovePinUp(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  458. // {
  459. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  460. // {
  461. // Notify($"{pm.Name} lift pin up ");
  462. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveUp(out string reason))
  463. // {
  464. // Stop(reason);
  465. // return false;
  466. // }
  467. // return true;
  468. // }, () =>
  469. // {
  470. // if (pm.ChamberLiftPin.IsUp)
  471. // return true;
  472. // return false;
  473. // }, timeout * 1000);
  474. // if (ret.Item1)
  475. // {
  476. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  477. // {
  478. // throw (new RoutineFaildException());
  479. // }
  480. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  481. // {
  482. // Stop($"{pm.Name} move lift pin up timeout, over {timeout} seconds");
  483. // throw (new RoutineFaildException());
  484. // }
  485. // else
  486. // throw (new RoutineBreakException());
  487. // }
  488. // }
  489. // public void LiftPinDown(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  490. // {
  491. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  492. // {
  493. // Notify($"{pm.Name} lift pin down");
  494. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveDown(out string reason))
  495. // {
  496. // Stop(reason);
  497. // return false;
  498. // }
  499. // return true;
  500. // }, () =>
  501. // {
  502. // if (pm.ChamberLiftPin.IsDown)
  503. // return true;
  504. // return false;
  505. // }, timeout * 1000);
  506. // if (ret.Item1)
  507. // {
  508. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  509. // {
  510. // throw (new RoutineFaildException());
  511. // }
  512. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  513. // {
  514. // Stop($"{pm.Name} move down lift pin timeout, over {timeout} seconds");
  515. // throw (new RoutineFaildException());
  516. // }
  517. // else
  518. // throw (new RoutineBreakException());
  519. // }
  520. // }
  521. // }
  522. //}