全部初始化
传动
运行
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选择工艺
当前:
设置
选择料盒种类
清除错误
系统
传送平台
反应腔
等待上料
泵状态
射频状态
反应腔
传送平台
左移
右移
上移
下移
设置
设置当前位置
移动测试
状态
位置(毫米)
使能
原点未建立
原点已建立
报警
移动中
速度(毫米/秒)
开
关
回原点
重置
停止
移动
刹车
左移
右移
上移
下移
加速
减速
开始频率
自动速度
手动速度
打开电源超时(秒)
移动超时(秒)
重置超时(秒)
回原点超时(秒)
找原点的速度(毫米/秒)
负极限位(毫米)
正极限位(毫米)
加减速时间(毫秒)
对平台无干涉处(毫米)
传送平台超时设置
上下气缸确认到位时间(秒)
左右气缸确认到位时间(秒)
LS-in和LS-out区确认有料箱时间(秒)
TS-in和TS-out区出口处料件确认到达时间(秒)
TS-in和TS-out区确认入口处卡料报警时间(秒)
TS-in和TS-out区确认出口处卡料报警时间(秒)
干跑模式
安全门有效
确认
取消
系统:
上电:
急停:
用户登录
用户名:
密码:
登录
退出
系统事件
重置
关闭蜂鸣器
版本号:
本机用户:
分组:
注销
进料平台:
腔体运行模式:
反应腔状态:
平台运行模式:
传送平台状态:
工艺状态:
系统运行模式:
系统状态:
进料轨道:
腔体:
出料轨道:
出料平台:
进料平台
状态:
清除错误
位置:
进料推杆
进料轨道
挡杆:
滚轮:
转动
停止
腔体
腔体推杆
出料轨道
出料平台
选择料盒种类
当前:
设置
工艺
自动运行
全部初始化
开始
总入口
选择料盒
批次
数据记录
工艺次数
扫描输入工艺
选择工艺
开始
下一步
停止
反应腔前门:
射频面板门:
CDA压力:
抽气
进水口
出水口
充气
液态源箱门:
反应腔后门:
工艺状态
参数列表
反馈值
设定值
工艺运行时间(秒)
工艺步骤
工艺步骤时间
腔体压力(毫托)
节流阀模式
节流阀位置(%)
节流阀反馈压力(毫托)
增压泵压力(毫托)
增压泵频率(%)
工艺步骤模式
电极板温度(度)
射频时间(秒)
射频模式
射频功率(瓦)
反射功率(瓦)
脉冲频率(Hz)
直流脉冲(%)
射频适配位置C1
射频适配位置C2
Vapor MFC1(sccm)
Vapor MFC2(sccm)
Electrode Temp(c)
维护操作
手动模式
自动模式
工作模式
在线
离线
工艺结束
手动操作
低压(毫托)
抽气时间阈值(秒)
抽气时间(秒)
电极报警温度(度)
抽气
流气
冷却
射频
吹扫
充气
腔体状态
开腔体
关腔体
新建...
重命名
另存为...
删除
当前菜单:
进料推杆位置
马达(毫米)
左位(毫米)
右位(毫米)
腔体推杆位置
上料位置
第一层(毫米)
总层数
间距(毫米)
腔体位置(毫米)
出料位置
产品宽度(毫米)
产品长度(毫米)
产品离基准面距离(毫米)
每层间距(毫米)
产品总层数
LS-in区M3推杆初始处(毫米)
LS-in区M3推杆推出处总位置(毫米)
PB-CHB区M2拨杆初始处(毫米)
PB-CHB区M2拨杆推入处总位置(毫米)
PB-CHB区M2拨杆推出处总位置(毫米)
R1 轨道产品代码
R2 轨道产品代码
R3 轨道产品代码
R4 轨道产品代码
工艺处理参数设定
充气时间阈值(秒)
吹扫抽气时间阈值(秒)
吹扫抽气压力(毫托)
吹扫充气时间阈值(秒)
吹扫充气压力(毫托)
吹扫次数
吹扫充气时间(s)
电极板温度误差范围(℃)
电极板温度波动过大报警时间(s)
电极板报警温差默认设置值(℃)
流气压力报警时间(秒)
流气压力报警阈值(毫托)
射频功率波动报警范围(瓦)
射频功率波动报警时间(秒)
射频反射功率波动报警范围(瓦)
射频反射功率波动报警时间(秒)
充气时间(秒)
设置
导出...
导入
设置全部
抽气阀门关闭后等待时间(秒)
RF Match运行模式
RF Match C1位置
RF Match C2位置
自动运行工艺时的RF适配模式
气体设置
启用
气路名
N2量程(sccm)
量程因子
流量偏差报警范围(sccm)
流量偏差报警时间(秒)
启用流量偏差报警
压力(兆帕)
压力最小值(兆帕)
压力最大值(兆帕)
压力预警时间(秒)
压力报警时间(秒)
设置
气路 1
气路 2
气路 3
气路 4
气路 5
氮气
CDA
带脉冲功能
最大功率(瓦)
启用扫码枪
自动模式下允许手动选择菜单
左电极板TC作为主控TC
两个TC报警温差(度)
真空系统
独立压力控制
干泵
干泵设置
冷却水流量
氮气压力
独立控压
当前值(slm|℃)
最小值(slm|℃)
最大值(slm|℃)
预警时间(秒)
报警时间(秒)
设备控制
测试模式
统计
射频打开时间
泵运行时间
上次清零时间
自上次清零后
清零
总共
维护周期(天)
累计自动加工料条数
累计自动跑货次数
账号管理
添加
修改
设置密码
分组
删除
当前登录用户
只显示有效用户
No.
登录名
有效
姓名
分组
部门
最近登录时间
电话
邮箱
备注
职务
公司名
创建
保存
必须选择用户分组信息
账号管理
"{0}"更新成功
"{0}"更新失败,
{1}
重置密码
账号"{0}"重新设置密码
重置密码成功
重置密码失败,
输入新密码:
再输一次:
当前登录用户账号管理
是否删除用户"{0}"?
删除用户"{0}" 成功。
删除用户"{0}" 失败!
{1}
创建用户数量:
有效用户数量:
是否确认删除分组"{0}"?
保存成功!
失败!
菜单列表
当前菜单:
重新加载
保存
新建菜单文件
导入菜单文件
新建文件夹
导出菜单文件
删除菜单文件
导出菜单文件为Excel格式
另存为
重命名菜单文件
重命名文件夹
删除文件夹
是否保存当前菜单文件?
{0}
{0}
加载菜单文件出现异常错误,请检查日志文件查找详细描述。
菜单文件编辑
{0}
导出失败
'{0}'文件导出到
{1}
Excel文件(.xls)|*.xls
{0}
导出失败
菜单文件(.rcp)|*.rcp
重命名菜单文件失败
'{0}'
{0}
重命名菜单文件异常错误,请检查日志文件查找详细描述。
重命名菜单文件"{0}"为:
输入菜单文件名
菜单文件存在错误,是否仍然保存?
保存菜单文件出现异常错误,请检查日志文件查找详细描述。
重新加载会丢失当前的修改,是否继续?
输入菜单文件名
另存为
'{0}'
失败
{0}
另存为操作异常,请检查日志文件查找详细描述。
输入文件夹名称
{0}
新建文件夹异常,请检查日志文件查找详细描述。
创建菜单文件
'{0}'
失败。
创建菜单文件
'{0}'
异常错误,请检查日志文件查找详细描述。
是否确认删除文件夹 "{0}"?
该文件夹下面的所有文件和文件夹都会被一起删除。
{0}
删除文件夹操作异常,请检查日志文件查找详细描述。
重命名文件夹"{0}"为
重命名文件夹失败
{0}
重命名文件夹操作异常,请检查日志文件查找详细描述。
导入文件:
导入并重命名菜单文件
"{0}"
失败!
{0}
导入菜单文件操作异常,请检查日志文件查找详细描述。
是否确认删除菜单文件"{0}"?
{0}
删除菜单文件操作异常,请检查日志文件查找详细描述。
Liquid Level:
Standing Time:
Name
Set
Real
Alarm Range
Alarm Time
Enable Alarm
Precursor Temp
Precursor Container Temp
Vapor Line Temp
Pumping Line Temp
Precursor High Limit
Precursor Low Limit
Vapor Pressure
Container Vacuum Pressure
Maintenance Control
Tank Pump
Status:
Pumping
Container Pump
Vapor line Pump
Precursor Feed
检漏设置
抽气时间(m)
检漏时间(m)
检漏模式
状态
检漏
终止
删除
日期
起始压力值
结束压力值
漏率
当前压力
射频适配设置
射频功率开关
设定功率(w)
适配模式
C1设定值(%)
C2设定值(%)
打开
关闭
查询条件
选择时间
菜单名称
查询
查询结果记录
菜单名
结束时间
开始时间
菜单运行结果
批次
数据曲线
传送平台操作
状态
初始化
终止
自动运行中
自动模式
手动模式
报警
自动
确认无料
手动
自动运行
自动停止
选择工艺
上载
启动传送
停止传送
开始
停止
总层数
层间距(毫米)
进料料盒首层位置(毫米)
出料料盒首层位置(毫米)
进料推杆工作位置(毫米)
腔体推杆推进腔体位置(毫米)
腔体推杆推出腔体位置(毫米)
开始时间
结束时间
自动加工料条数
进料平台
进料轨道
腔体推杆
出料轨道
出料平台
进料平台
加工完毕,等待更换
当前层
目标层
变更工作层
腔体
产品推进腔体
产品推出腔体
等待进料
等待出料
腔体打开
腔体关闭
等待进出料
出料平台
急停按钮
安全门
前门
后门
关闭腔盖互锁
前端设备轨道有板待出
后端设备轨道请求放板
轨道请求前端设备放料
轨道请求后端设备接料