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- EfemDual(Mars200_ATM) 系统更新历史记录
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- 2024-01-24 versuib 1,0.0.3
- 1.增加素珀手臂配置以及增加了吸附和释放
- 2.修改Rorze751，获取点位配置的数据类型由整形改成字符串(泓浒手臂的点位配置是字母和数字的组合)
- 3.wafer history，如果wafer的工艺状态为空的情况下，To Chart按钮灰掉
- 4.所有routine，获取配置值改到Start过程赋值或从chamber获取(相对与腔体的routine)
- 5.如果射频已打开，如果连续3秒不满足射频条件，发送关闭射频的指令。
- 2024-01-04 version 1.0.0.2
- 1.当Efem robot 处于picking、placing状态时出错，调用系统Abort,整个调度停止
- 2.当TM robot 处于picking、placing、goto、swaping状态时出错，调用系统Abort，整个调度停止
- 3.当LP load或map后，出现凸片，叠片，交叉片时，改LP状态设置为error，同时不影响其他lp继续操作
- 4.修改pump check条件(按照原来mars逻辑)
- 5.修改模拟器腔体压力值，使得工艺过程中不会处于既不是真空也不是大气压状态
- 6.修改腔体界面，当做工艺的时候，气体流动时，增加垂直动画(模拟气体流动)
- 7.当右键菜单退出rt程序，射频，阀都要关闭
- 8.当return wafer出错时，Scheduler(pm、tm、efem、lp) 都重置
- 9.当tm cycle出错时，Scheduler(pm、tm)都重置
- 10.System.sccfg 隐藏部分不常用的配置，隐藏后RT界面还可以配置
- 11.当前腔如果射频已开启，如果检测到气体阀（除vent）都关闭或GB_Interlock信号关闭或SensorWaterFlowOk1或SensorWaterFlowOk2信号关闭，关闭射频并报警
- 2023-12-21 version 1.0.0.1
- 1.增加素珀机械臂对接
- 2.修改配置项SaveAll只保存第一项的值
- 3.泓浒手臂缩回来之前如果报错，wafer位置不移动
- 4.sytem home时如果报错或超时，相应的状态置成Error
- 5.修改AutoCycle结束是，配置项"System.IsCycleMode"不自动设置成fasle
- 6.PMA或PMB 界面选择工艺,单击开始，如果腔体里没有wafer进行warning提示
- 7.超时时把具体设置的超时值显示出来
- 2020-11-29 version 1.0.0.0
- 1.初始版本
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