123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129130131132133134135136137138139140141142143144145146147148149150151152153154155156157158159160161162163164165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244245246247248249250251252253254255256257258259260261262263264265266267268269270271272273274275276277278279280281282283284285286287288289290291292293294295296297298299300301302303304305306307308309310311312313314315316317318319320321322323324325326327328329330331332333334335336337338339340341342343344345346347348349350351352353354355356357358359360361362363364365366367368369370371372373374375376377378379380381382383384385386387388389390391392393394395396397398399400401402403404405406407408409410411412413414415416417418419420421422423424425426427428429430431432433434435436437438439440441442443444445446447448449450451452453454455456457458459460461462463464465466467468469470471472473474475476477478479480481482483484485486487488489490491492493494495496497498499500501502503504505506507508509510511512513514515516517518519520521522523524525526527528529530531532533534535536537538539540541542543544545546547548549550551552553554555556557558559560561562563564565566567568569570571572573574575576577578579580581582583584585586587588589590591592593594595596597598599600601602603604605606607608609610611612613614615616 |
- //using Aitex.Core.RT.Event;
- //using Aitex.Core.RT.Routine;
- //using Aitex.Core.RT.SCCore;
- //using Aitex.Core.Util;
- //using Aitex.Sorter.Common;
- //using MECF.Framework.Common.Equipment;
- //using MECF.Framework.Common.Schedulers;
- //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
- //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Robots;
- //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.LogicUnits;
- //using StripRT.Equipments.PMs;
- //using StripRT.Equipments.Systems;
- //using System;
- //using System.Collections.Generic;
- //using System.Linq;
- //using System.Text;
- //using System.Threading.Tasks;
- //namespace StripRT.Equipments.Efems
- //{
- // class EfemPickAndPlacePMRoutine : ModuleRoutine, IRoutine
- // {
- // enum RoutineStep
- // {
- // CheckBeforePick,
- // PickWafer,
- // CheckBeforePlace,
- // PlaceWafer,
- // PostTransfer,
- // PickExtend,
- // PickRetract,
- // PlaceExtend,
- // PlaceRetract,
- // PickLiftUp,
- // PickLiftDown,
- // PlaceLiftUp,
- // PlaceLiftDown,
- // }
- // private EfemModule _robotModule;
- // private ITransferTarget _target;
- // private Hand _pickBlade;
- // private Hand _placeBlade;
- // private ModuleName _targetModule;
- // private int _pickSlot;
- // private int _placeSlot;
- // private int _pickTimeout;
- // private int _placeTimeout;
- // private int _postTransferTimeout;
- // public EfemPickAndPlacePMRoutine(EfemModule robotModule)
- // {
- // Module = "EfemRobot";
- // Name = "Pick";
- // _robotModule = robotModule;
- // }
- // public Result Start(params object[] objs)
- // {
- // _pickTimeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PickTimeout");
- // _placeTimeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PlaceTimeout");
- // if (ModuleHelper.IsPm(_targetModule))
- // {
- // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
- // }
- // Reset();
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)_pickBlade))
- // {
- // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick by {_pickBlade}, found wafer on");
- // return Result.FAIL;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, (int)_placeBlade))
- // {
- // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place by {_placeBlade}, no wafer on");
- // return Result.FAIL;
- // }
- // if (_pickSlot != _placeSlot)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_targetModule, _pickSlot))
- // {
- // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick from {_targetModule} slot {_pickSlot + 1}, no wafer on");
- // return Result.FAIL;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(_targetModule, _placeSlot))
- // {
- // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not place to {_targetModule} slot {_placeSlot + 1}, found wafer on");
- // return Result.FAIL;
- // }
- // }
- // else
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_targetModule, _placeSlot))
- // {
- // {
- // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick&place from {_targetModule} slot {_placeSlot + 1}, no wafer on");
- // return Result.FAIL;
- // }
- // }
- // }
- // Notify($"Start, swap wafer,pick: {_pickBlade} slot {_pickSlot + 1}, place: {_placeBlade} slot {_placeSlot + 1}");
- // return Result.RUN;
- // }
- // public void Init(ModuleName targetModule, Hand pickBlade, int pickSlot, Hand placeBlade, int placeSlot)
- // {
- // _pickBlade = pickBlade;
- // _placeBlade = placeBlade;
- // _targetModule = targetModule;
- // _pickSlot = pickSlot;
- // _placeSlot = placeSlot;
- // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[targetModule] as ITransferTarget;
- // }
- // public void Abort()
- // {
- // if (_target != null)
- // {
- // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
- // }
- // _target = null;
- // Notify("Abort");
- // }
- // public Result Monitor()
- // {
- // try
- // {
- // //CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade);
- // //PickWafer((int)RoutineStep.PickWafer, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, _pickTimeout);
- // //CheckBeforePlace((int)RoutineStep.CheckBeforePlace, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade);
- // //PlaceWafer((int)RoutineStep.PlaceWafer, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, _pickTimeout);
- // CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade);
- // RobotExtend((int)RoutineStep.PickExtend, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, RobotPostionEnum.PickExtendLow, _pickTimeout);
- // MovePinUp((int)RoutineStep.PickLiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _pickTimeout);
- // RobotRetract((int)RoutineStep.PickRetract, _targetModule, _pickSlot, _pickBlade, RobotPostionEnum.PickRetracted, _pickTimeout);
- // LiftPinDown((int)RoutineStep.PickLiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract, _pickTimeout);
- // RobotExtend((int)RoutineStep.PlaceExtend, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, RobotPostionEnum.PlaceExtendUp, _pickTimeout);
- // MovePinUp((int)RoutineStep.PlaceLiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _pickTimeout);
- // RobotRetract((int)RoutineStep.PlaceRetract, _targetModule, _placeSlot, _placeBlade, RobotPostionEnum.PlaceRetract, _pickTimeout);
- // LiftPinDown((int)RoutineStep.PlaceLiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract,_pickTimeout);
- // if (ModuleHelper.IsPm(_targetModule))
- // {
- // PostTransfer((int)RoutineStep.PostTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Place, _postTransferTimeout);
- // }
- // }
- // catch (RoutineBreakException)
- // {
- // return Result.RUN;
- // }
- // catch (RoutineFaildException)
- // {
- // return Result.FAIL;
- // }
- // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
- // Notify($"complete, swap wafer,pick: {_pickBlade} slot {_pickSlot + 1}, place: {_placeBlade} slot {_placeSlot + 1}");
- // return Result.DONE;
- // }
- // public void CheckBeforePick(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
- // {
- // Notify("Check pick is enabled");
- // string reason = string.Empty;
- // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, blade, slot, EnumTransferType.Pick, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // if (blade == Hand.Blade1)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
- // {
- // Stop("Source no wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
- // {
- // Stop("Blade has wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // else if (blade == Hand.Blade2)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
- // {
- // Stop("Source no wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
- // {
- // Stop("Blade has wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // else
- // {
- // for (int i = 0; i < 2; i++)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot + i))
- // {
- // Stop("Source no wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
- // {
- // Stop("Blade has wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // }
- // return true;
- // });
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // }
- // }
- // public void PickWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify("robot execute pick command");
- // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, hand, slot, EnumTransferType.Pick);
- // string reason;
- // if (!_robotModule.RobotDevice.Pick(chamber, hand, slot, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
- // return null;
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // Stop(string.Format("failed."));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void CheckBeforePlace(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
- // {
- // Notify("Check place condition");
- // string reason = string.Empty;
- // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, blade, slot, EnumTransferType.Place, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // if (blade == Hand.Blade1)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
- // {
- // Stop("Source has wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
- // {
- // Stop("Blade 1 no wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // else if (blade == Hand.Blade2)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot))
- // {
- // Stop("Source has wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
- // {
- // Stop("Blade no wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // else
- // {
- // for (int i = 0; i < 2; i++)
- // {
- // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(source, slot + i))
- // {
- // Stop("Source has wafer");
- // return false;
- // }
- // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
- // {
- // Stop("Blade no wafer");
- // return false;
- // }
- // }
- // }
- // return true;
- // });
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // }
- // }
- // public void PlaceWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify("robot start execute place command");
- // string reason;
- // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, hand, slot, EnumTransferType.Place);
- // if (!_robotModule.RobotDevice.Place(chamber, hand, slot, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
- // return null;
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void PostTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify($"{pm.Name} post transfer ");
- // if (!pm.PostTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (pm.IsError)
- // {
- // return null;
- // }
- // return pm.IsReady;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // Stop($"{pm.Name} error");
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop($"{pm.Name} post transfer timeout, over {timeout} seconds");
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void RobotExtend(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify("robot execute goto command");
- // string reason;
- // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
- // return null;
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // Stop(string.Format("failed."));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void RobotRetract(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify("robot execute goto command");
- // string reason;
- // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
- // return null;
- // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // Stop(string.Format("failed."));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void MovePinUp(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify($"{pm.Name} lift pin up ");
- // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveUp(out string reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (pm.ChamberLiftPin.IsUp)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop($"{pm.Name} move lift pin up timeout, over {timeout} seconds");
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // public void LiftPinDown(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
- // {
- // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
- // {
- // Notify($"{pm.Name} lift pin down");
- // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveDown(out string reason))
- // {
- // Stop(reason);
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }, () =>
- // {
- // if (pm.ChamberLiftPin.IsDown)
- // return true;
- // return false;
- // }, timeout * 1000);
- // if (ret.Item1)
- // {
- // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
- // {
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
- // {
- // Stop($"{pm.Name} move down lift pin timeout, over {timeout} seconds");
- // throw (new RoutineFaildException());
- // }
- // else
- // throw (new RoutineBreakException());
- // }
- // }
- // }
- //}
|