Mars200/Mars/EfemDualRT/Config/VIDs/_CEID.xml

<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<ArrayOfVIDItem xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema">
  <VIDItem Name="EquipmentOFFLINE" Index="1" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="EquipmentOFFLINE">
    <LinkableVID>
      <int>3</int>
      <int>4</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="ControlStateLOCAL" Index="2" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ControlStateLOCAL">
    <LinkableVID>
      <int>3</int>
      <int>4</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="ControlStateREMOTE" Index="3" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ControlStateREMOTE">
    <LinkableVID>
      <int>3</int>
      <int>4</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="EquipmentConstantChanged" Index="8" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="EquipmentConstantChanged">
    <LinkableVID>
      <int>3007</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="SpoolingActivated" Index="160" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingActivated" />
  <VIDItem Name="SpoolingDeactivated" Index="161" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingDeactivated" />
  <VIDItem Name="SpoolingFailed" Index="162" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingFailed" />
  <VIDItem Name="WAFER_LEFT_POSITION" Index="503" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="WAFER_LEFT_POSITION">
    <LinkableVID>
      <int>3404</int>
      <int>3405</int>
      <int>3406</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="WAFER_ARRIVE_POSITION" Index="504" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="WAFER_ARRIVE_POSITION">
    <LinkableVID>
      <int>3404</int>
      <int>3405</int>
      <int>3406</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_ARRIVED" Index="1000" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ARRIVED">
    <LinkableVID>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_REMOVED" Index="1001" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_REMOVED">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_ID_READ" Index="1002" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_READ">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3113</int>
      <int>3503</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_ID_READ_FAILED" Index="1003" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_READ_FAILED">
    <LinkableVID>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_ID_WRITE" Index="1004" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_WRITE">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_ID_WRITE_FAILED" Index="1005" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_WRITE_FAILED">
    <LinkableVID>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_LOADED" Index="1006" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_LOADED">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="CARRIER_UNLOADED" Index="1007" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_UNLOADED">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="SLOT_MAP_AVAILABLE" Index="1008" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SLOT_MAP_AVAILABLE">
    <LinkableVID>
      <int>3105</int>
      <int>3106</int>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortClamped" Index="1012" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortClamped">
    <LinkableVID>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortUnClamped" Index="1013" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortUnClamped">
    <LinkableVID>
      <int>3113</int>
      <int>3</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobStarted" Index="1022" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobStarted">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobStopped" Index="1023" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobStopped">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobPaused" Index="1024" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobPaused">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobResumed" Index="1025" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobResumed">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobAborted" Index="1026" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobAborted">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobFinished" Index="1027" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobFinished">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
      <int>3124</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobFailed" Index="1028" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortPPSelected" Index="1030" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortPPSelected">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortPPSelectFailed" Index="1031" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortPPSelectFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobWaferStart" Index="1032" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobWaferStart">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PortJobWaferEnd" Index="1033" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PortJobWaferEnd">
    <LinkableVID>
      <int>3102</int>
      <int>3104</int>
      <int>3113</int>
      <int>3107</int>
      <int>3125</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMARecipeStart" Index="3001" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMARecipeStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMARecipeComplete" Index="3002" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMARecipeComplete">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMARecipeStepStart" Index="3003" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMARecipeStepStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMARecipeStepEnd" Index="3004" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMARecipeStepEnd">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMARecipeFailed" Index="3005" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMARecipeFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMBRecipeStart" Index="3011" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMBRecipeStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMBRecipeComplete" Index="3012" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMBRecipeComplete">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMBRecipeStepStart" Index="3013" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMBRecipeStepStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMBRecipeStepEnd" Index="3014" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMBRecipeStepEnd">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMBRecipeFailed" Index="3015" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMBRecipeFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMCRecipeStart" Index="3021" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMCRecipeStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMCRecipeComplete" Index="3022" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMCRecipeComplete">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMCRecipeStepStart" Index="3023" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMCRecipeStepStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMCRecipeStepEnd" Index="3024" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMCRecipeStepEnd">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMCRecipeFailed" Index="3025" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMCRecipeFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMDRecipeStart" Index="3031" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMDRecipeStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMDRecipeComplete" Index="3032" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMDRecipeComplete">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMDRecipeStepStart" Index="3033" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMDRecipeStepStart">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMDRecipeStepEnd" Index="3034" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMDRecipeStepEnd">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3109</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
  <VIDItem Name="PMDRecipeFailed" Index="3035" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PMDRecipeFailed">
    <LinkableVID>
      <int>3103</int>
      <int>3102</int>
      <int>3108</int>
      <int>3113</int>
      <int>3105</int>
      <int>3110</int>
    </LinkableVID>
  </VIDItem>
</ArrayOfVIDItem>