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Framework
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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hace 1 año |
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RecipeEditorControl
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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hace 1 año |
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ThirdParty
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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hace 1 año |
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Venus_Core
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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hace 1 año |
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Venus_MainPages
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feed6f1c8e
修复手动流气bug
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hace 1 año |
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Venus_RT
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feed6f1c8e
修复手动流气bug
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hace 1 año |
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Venus_Setup
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76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
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hace 1 año |
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Venus_Simulator
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
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Venus_Themes
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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hace 1 año |
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Venus_UI
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
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packages
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34b0a3fbfa
1.添加recipe模块功能
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hace 2 años |
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Venus.sln
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5987f80b26
1.增加sequence控件以及sequence内容编辑保存
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hace 1 año |
lixiang
feed6f1c8e
修复手动流气bug