123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293 |
- //using Aitex.Core.RT.Routine;
- //using Aitex.Core.RT.SCCore;
- //using Venus_RT.Devices;
- //using MECF.Framework.Common.Routine;
- //using Venus_Core;
- //namespace Venus_RT.Modules.PMs
- //{
- // class LoadLockVentRoutine : PMRoutineBase, IRoutine
- // {
- // private enum VentStep
- // {
- // kClosePendulumValve,
- // kCloseValves,
- // kVent,
- // kOverVent,
- // kCloseVentValves,
- // }
- // private int _overVentTime = 2000;
- // private int _checkATMTimeout = 90000;
- // //private int _ATMPressureLL = 720000;
- // public LoadLockVentRoutine(JetPMBase chamber) : base(chamber)
- // {
- // Name = "Loadlock Vent";
- // }
- // public RState Start(params object[] objs)
- // {
- // if (CheckLidLoadLock()&&
- // CheckSlitDoor()&&
- // CheckATMLoadLock())
- // {
- // Reset();
- // // _chamber.CloseValves();
- // //_chamber.TurnPendulumValve(false);
- // _checkATMTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.CheckATMTimeout") * 1000;
- // _overVentTime = SC.GetValue<int>($"{Module}.OverVentTime");
- // return Runner.Start(Module, Name);
- // }
- // return RState.Failed;
- // }
- // public RState Monitor()
- // {
- // Runner.Run(VentStep.kClosePendulumValve, ClosePendulumValve, _delay_1s)
- // .Run(VentStep.kCloseValves, CloseValves, _delay_1s)
- // //.Run(VentStep.kVent, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, true), () => { return _chamber.LoadlockPressure >= _ATMPressureLL; }, _checkATMTimeout)
- // .Run(VentStep.kVent, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, true), () => { return _chamber.IsATMLoadlock; }, _checkATMTimeout)
- // .Delay(VentStep.kOverVent, _overVentTime)
- // .End(VentStep.kCloseVentValves, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, false), _delay_1s);
- // return Runner.Status;
- // }
- // public void Abort()
- // {
- // CloseAllValves();
- // }
- // public bool ClosePendulumValve()
- // {
- // if (_chamber.PendulumValveIsOpen() == true)
- // {
- // _chamber.TurnPendulumValve(false);
- // }
- // _chamber.OpenValve(ValveType.TurboPumpPurge, false);
- // _chamber.OpenValve(ValveType.Guage, false);
- // return true;
- // }
- // public bool CloseValves()
- // {
- // _chamber.OpenValve(ValveType.TurboPumpPumping, false);
- // return true;
- // }
- // public bool CheckATMLoadLock()
- // {
- // if (_chamber.IsATMLoadlock)
- // {
- // this.Stop("LoadLock 是ATM状态");
- // return false;
- // }
- // return true;
- // }
- // }
- //}
|