LoadLockVentRoutine.cs 3.1 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293
  1. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  2. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  3. //using Venus_RT.Devices;
  4. //using MECF.Framework.Common.Routine;
  5. //using Venus_Core;
  6. //namespace Venus_RT.Modules.PMs
  7. //{
  8. // class LoadLockVentRoutine : PMRoutineBase, IRoutine
  9. // {
  10. // private enum VentStep
  11. // {
  12. // kClosePendulumValve,
  13. // kCloseValves,
  14. // kVent,
  15. // kOverVent,
  16. // kCloseVentValves,
  17. // }
  18. // private int _overVentTime = 2000;
  19. // private int _checkATMTimeout = 90000;
  20. // //private int _ATMPressureLL = 720000;
  21. // public LoadLockVentRoutine(JetPMBase chamber) : base(chamber)
  22. // {
  23. // Name = "Loadlock Vent";
  24. // }
  25. // public RState Start(params object[] objs)
  26. // {
  27. // if (CheckLidLoadLock()&&
  28. // CheckSlitDoor()&&
  29. // CheckATMLoadLock())
  30. // {
  31. // Reset();
  32. // // _chamber.CloseValves();
  33. // //_chamber.TurnPendulumValve(false);
  34. // _checkATMTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.CheckATMTimeout") * 1000;
  35. // _overVentTime = SC.GetValue<int>($"{Module}.OverVentTime");
  36. // return Runner.Start(Module, Name);
  37. // }
  38. // return RState.Failed;
  39. // }
  40. // public RState Monitor()
  41. // {
  42. // Runner.Run(VentStep.kClosePendulumValve, ClosePendulumValve, _delay_1s)
  43. // .Run(VentStep.kCloseValves, CloseValves, _delay_1s)
  44. // //.Run(VentStep.kVent, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, true), () => { return _chamber.LoadlockPressure >= _ATMPressureLL; }, _checkATMTimeout)
  45. // .Run(VentStep.kVent, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, true), () => { return _chamber.IsATMLoadlock; }, _checkATMTimeout)
  46. // .Delay(VentStep.kOverVent, _overVentTime)
  47. // .End(VentStep.kCloseVentValves, HOFs.WrapAction(_chamber.OpenValve, ValveType.LoadlockVent, false), _delay_1s);
  48. // return Runner.Status;
  49. // }
  50. // public void Abort()
  51. // {
  52. // CloseAllValves();
  53. // }
  54. // public bool ClosePendulumValve()
  55. // {
  56. // if (_chamber.PendulumValveIsOpen() == true)
  57. // {
  58. // _chamber.TurnPendulumValve(false);
  59. // }
  60. // _chamber.OpenValve(ValveType.TurboPumpPurge, false);
  61. // _chamber.OpenValve(ValveType.Guage, false);
  62. // return true;
  63. // }
  64. // public bool CloseValves()
  65. // {
  66. // _chamber.OpenValve(ValveType.TurboPumpPumping, false);
  67. // return true;
  68. // }
  69. // public bool CheckATMLoadLock()
  70. // {
  71. // if (_chamber.IsATMLoadlock)
  72. // {
  73. // this.Stop("LoadLock 是ATM状态");
  74. // return false;
  75. // }
  76. // return true;
  77. // }
  78. // }
  79. //}