| .. |
|
Configuration
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 роки тому |
|
DataLog
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 роки тому |
|
PM
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 роки тому |
|
ButterflyValveViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
CleanRecipeViewModel.cs
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
1 рік тому |
|
DataHistoryViewModel.cs
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 рік тому |
|
EfemViewModel.cs
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
1 рік тому |
|
EventViewModel.cs
|
f8026cadbc
控压结束动作bug修复
|
1 рік тому |
|
FaViewModel.cs
|
7dc2089ceb
1、add PortWaferStart/PortWaferEnd event sequence name parameter;
|
1 рік тому |
|
GasLeakCheckViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
IOViewModel.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 рік тому |
|
LoginViewModel.cs
|
f74076f457
1.修复LP3不能create job，ui界面显示错误的bug
|
1 рік тому |
|
MFCVerificationViewModel.cs
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
1 рік тому |
|
OperationOverViewModel.cs
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 рік тому |
|
OverKepler2200AViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
OverKepler2200BViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
OverKepler2300ViewModel.cs
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
1 рік тому |
|
OverVenusDEViewModel.cs
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
1 рік тому |
|
OverVenusSEViewModel.cs
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 рік тому |
|
OverVenusViewModel.cs
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
1 рік тому |
|
PartialPressureViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
PlatformViewModel.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 рік тому |
|
ProcessHistoryViewModel.cs
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 рік тому |
|
ProcessViewModel.cs
|
ffda76b488
修改rt与ui交互功能
|
2 роки тому |
|
RFCalibrationViewModel.cs
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
1 рік тому |
|
RecipeSequenceSelectViewModel.cs
|
5987f80b26
1.增加sequence控件以及sequence内容编辑保存
|
1 рік тому |
|
RecipeViewModel.cs
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 рік тому |
|
RoleViewModel.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 рік тому |
|
SETMOperationViewModel.cs
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
1 рік тому |
|
SeTMViewModel.cs
|
d0f35564a3
1.Venus SE VCE&TM change to Single signal mode(NO VAC signal)
|
1 рік тому |
|
SequenceViewModel.cs
|
f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
|
1 рік тому |
|
SignalTowerConfigViewModel.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 рік тому |
|
StatisticsViewModel.cs
|
ed38ed5c95
1.check load function bugs fix
|
1 рік тому |
|
SystemConfigViewModel.cs
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
1 рік тому |
|
TMOperationViewModel.cs
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
1 рік тому |
|
TMViewModel.cs
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 рік тому |
|
TopViewModel.cs
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 рік тому |
|
UserViewModel.cs
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 рік тому |
|
VATPerformanceViewModel.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
VceViewModel.cs
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
1 рік тому |
|
VenusSeOperationOverViewModel.cs
|
ea68c5c25d
add clean for Venus SE.
|
1 рік тому |
|
WaferDialogViewModel.cs
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
1 рік тому |
|
WaferHistoryDBViewModel.cs
|
78c80a0896
fix bugs
|
1 рік тому |
|
WaferOffsetViewModel.cs
|
b2e38c8ff3
Add unuploaded files
|
1 рік тому |
