.. |
VenusEntity
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
před 1 rokem |
MFCoolingRoutine.cs
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码
|
před 1 rokem |
MFHomeRoutine.cs
|
ed38ed5c95
1.check load function bugs fix
|
před 1 rokem |
MFLeakCheckRoutine.cs
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
před 1 rokem |
MFPMExtendRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPMPickRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPMPlaceRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPMRetractRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPMSwapRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPickRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFPlaceRoutine.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check
|
před 1 rokem |
MFPumpRoutine.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check
|
před 1 rokem |
MFPurgeRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
MFSwapRoutine.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路
|
před 1 rokem |
MFVentRoutine.cs
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码
|
před 1 rokem |
TMEntity.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check
|
před 1 rokem |