.. |
Account
|
53e362a33e
update
|
2 vuotta sitten |
PM
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 vuosi sitten |
TM
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 vuosi sitten |
ClusterGemModel.xml
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
1 vuosi sitten |
DBModel.sql
|
ca6cc2acfb
Add WaferOffset related pages, drivers, acquisition logic, and simulator.
|
1 vuosi sitten |
DeviceModel.xsd
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
2 vuotta sitten |
EventDefine.xml
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
2 vuotta sitten |
IoProviderConfig.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 vuosi sitten |
LogDefine.json
|
ec2f97e62d
enhance log.
|
1 vuosi sitten |
RecipeFormat.xml
|
9760d40cf7
port simulator
|
2 vuotta sitten |
SESequenceFormat.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 vuosi sitten |
SequenceFormat.xml
|
7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
|
1 vuosi sitten |
SignalTower.xml
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
1 vuosi sitten |
System.sccfg
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 vuosi sitten |
VenusPreProcess.py
|
64c7ef574e
log
|
2 vuotta sitten |