lixiang 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 рік тому
..
ChillerBase.cs cdf41d68fe 1.优化数据库实时数据插入功能,恢复数据查询/实时数据查看等功能 2 роки тому
HeaterBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
LidBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
MfcBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
MotorBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
PressureGaugeBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
PumpBase.cs a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300 2 роки тому
RfMatchBase.cs 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 1 рік тому
RfPowerBase.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 рік тому
SignalLightBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
SignalTowerBase.cs a48b743e88 1.完成PartialPressure功能 2 роки тому
SlitValveBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому
ThrottleValveBase.cs 56cd0ab611 add framework 3 роки тому