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Common
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2f30fa17c4
1、修复了Wafer_Left_Position上报数据；
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hace 1 año |
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RTCore
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d8b75084d0
添加RT UI 模块选择功能
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hace 1 año |
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RTEquipmentLibrary
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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hace 1 año |
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RTModuleLibrary
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136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
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hace 1 año |
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SequenceControl
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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hace 1 año |
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SimulatorCore
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b2769d4638
1、fixed serial port simulator memory overflow exception
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hace 1 año |
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Test
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da4e6f6a4e
Recipe功能完善
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hace 2 años |
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UICore
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
chenkui
b2769d4638
1、fixed serial port simulator memory overflow exception