| .. |
|
ControlJob.cs
|
236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
|
1 vuosi sitten |
|
EnumControlJobState.cs
|
b4c441532d
Clean Recipe functions, include IdleClean/PreJobClean/WTWJobClean/PostJobClean.
|
1 vuosi sitten |
|
EnumProcessJobState.cs
|
56cd0ab611
add framework
|
2 vuotta sitten |
|
LotInfo.cs
|
56cd0ab611
add framework
|
2 vuotta sitten |
|
ProcessJobInfo.cs
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
1 vuosi sitten |
|
ProcessJobManager.cs
|
56cd0ab611
add framework
|
2 vuotta sitten |
|
SequenceInfo.cs
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
1 vuosi sitten |
|
SequenceStepInfo.cs
|
4259958c23
Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function.
|
1 vuosi sitten |
|
SequenceStepModuleInfo.cs
|
56cd0ab611
add framework
|
2 vuotta sitten |
chenkui
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；