2024/08/23- Log Id 详细区分 1-999 System信息 1000-1999 PM信息 { 1000-1099 旧版设备一般信息，PM在此基础上扩展 1100-1119 RF 1120-1139 Match 1140-1159 干泵 1160-1179 分子泵 1180-1199 钟摆阀 1200-1219 RFBox 1220-1239 MFC 1240-1259 IOHighTemperatureHeater 1260-1279 IOMAGNET } 2000-2999 TM信息 3000-3999 4000-4999 EFEM信息 5000-5999 FA 6000-6999 LL信息
