| .. |
|
Kepler2200A
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
преди 1 година |
|
Kepler2200B
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
|
Kepler2300
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
|
Venus
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
|
VenusDE
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
|
VenusSE
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
lixiang
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置