lixiang add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 пре 11 месеци
..
EFEMAlignRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. пре 1 година
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 пре 11 месеци
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. пре 1 година
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 пре 1 година
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 пре 1 година
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. пре 1 година
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 пре 1 година