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Attributes
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87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
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1 년 전 |
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Properties
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8582fd7e94
Venus初始版本提交
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2 년 전 |
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Chamber.cs
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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1 년 전 |
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ConfigType.cs
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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1 년 전 |
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ConvertPressureUnit.cs
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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1 년 전 |
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DataName.cs
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a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
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1 년 전 |
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DeviceName.cs
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a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
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1 년 전 |
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EventDefine.cs
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52349cad2b
Duplicated wafer functions.
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1 년 전 |
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FADefine.cs
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3cad102221
更新 RT
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2 년 전 |
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GlobalEvents.cs
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ba61077913
增加拖片功能
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1 년 전 |
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HighTemperatureHeaterPosition.cs
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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1 년 전 |
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InvokeName.cs
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3cad102221
更新 RT
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2 년 전 |
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Kepler2300Device.cs
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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1 년 전 |
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MFCCalibrationData.cs
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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1 년 전 |
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ModuleName.cs
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3cad102221
更新 RT
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2 년 전 |
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NiceRobotAction.cs
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8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
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11 달 전 |
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PMLeakCheckResult.cs
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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1 년 전 |
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PartialPressureResult.cs
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796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
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2 년 전 |
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PressureType.cs
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 년 전 |
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ProcessUnitDefine.cs
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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11 달 전 |
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Recipe.cs
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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11 달 전 |
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RecipeResult.cs
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464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
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11 달 전 |
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RobotArmPan.cs
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b2e38c8ff3
Add unuploaded files
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1 년 전 |
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RtState.cs
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0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
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11 달 전 |
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SCValue.cs
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3cad102221
更新 RT
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2 년 전 |
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SerializeHelper.cs
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c671c999c0
ui界面优化
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11 달 전 |
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SignalTowerItem.cs
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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1 년 전 |
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StepItem.cs
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edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
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1 년 전 |
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SubItem.cs
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bb33e89998
1，优化UI界面
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2 년 전 |
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TM.cs
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dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
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1 년 전 |
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VATPerformanceResult.cs
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796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
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2 년 전 |
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ValveType.cs
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136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
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1 년 전 |
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VenusDevice.cs
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ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
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11 달 전 |
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VenusMenu.cs
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0f905564d0
加入登录界面和权限管理
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1 년 전 |
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Venus_Core.csproj
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8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
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11 달 전 |
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VirgoDevice.cs
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9760d40cf7
port simulator
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2 년 전 |
lixiang
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug