| .. |
|
VenusSE
|
afc3b9494f
VenusSE TM pressurecontrol update
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
DeviceModelVenusDE_MF.xml
|
253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator
|
11 hónapja%!(EXTRA string=óta) |
|
DeviceModelVenusSE_MF.xml
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
DeviceModelVenus_MF.xml
|
ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
SETMInterlock.xml
|
1b165a2e61
Venus DE update && Venus SE simulator update
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
TMInterlock.xml
|
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
|
11 hónapja%!(EXTRA string=óta) |
|
_ioDefineVenusDE_MF.xml
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
_ioDefineVenusSETest_MF.xml
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
_ioDefineVenusSE_MF.xml
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
_ioDefineVenus_MF.xml
|
9163903164
Kepler2200优化
|
11 hónapja%!(EXTRA string=óta) |
zhouhr
253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator