| .. |
|
EFEM
|
99d939492e
1.加登出界面
|
1 год назад |
|
LLs
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
1 год назад |
|
LPs
|
9e9459c927
efem界面按钮功能优化
|
1 год назад |
|
PMs
|
4666252058
补充recipe界面不显示heliumpump的问题
|
месяцев назад: 11 |
|
SMIF
|
49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
|
1 год назад |
|
Schedulers
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
1 год назад |
|
TM
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
месяцев назад: 11 |
|
VCE
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
месяцев назад: 11 |
|
AutoCycle.cs
|
2f30fa17c4
1、修复了Wafer_Left_Position上报数据；
|
1 год назад |
|
Autotransfer_LP_FA.cs
|
8cf03142ec
Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI
|
1 год назад |
|
DVIDName.cs
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
1 год назад |
|
EntityErrorRaiseTrigger.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 год назад |
|
EntityTaskBase.cs
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
лет назад: 2 |
|
ManualTransfer.cs
|
3b1932fced
Add Loadport loaded check while manual transfer wafer.
|
1 год назад |
|
ResourceMonitor.cs
|
3838ce8c36
1. Change the logic of Reset RF/Pump/CustomItem count
|
1 год назад |
|
RouteManager.cs
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
месяцев назад: 11 |
|
SEManualTransfer.cs
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
1 год назад |
|
SETMCycle.cs
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
месяцев назад: 11 |
|
SystemDispatcher.cs
|
10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
|
1 год назад |
|
TMCycle.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 год назад |
|
VenusDispatcher.cs
|
fd27ba4304
handle some bug.
|
месяцев назад: 11 |
zhouhr
4666252058
补充recipe界面不显示heliumpump的问题