lixiang 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 月之前
..
Attributes 87f1121180 1.Recipe UI 界面Name优化 1 年之前
Properties 8582fd7e94 Venus初始版本提交 2 年之前
Chamber.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 年之前
ConfigType.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 年之前
ConvertPressureUnit.cs 9163903164 Kepler2200优化 11 月之前
DataName.cs a98efc8a0b 1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug 1 年之前
DeviceName.cs a98efc8a0b 1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug 1 年之前
EventDefine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 月之前
FADefine.cs 3cad102221 更新 RT 2 年之前
GlobalEvents.cs 9163903164 Kepler2200优化 11 月之前
HighTemperatureHeaterPosition.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 年之前
InvokeName.cs 3cad102221 更新 RT 2 年之前
Kepler2300Device.cs a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 1 年之前
MFCCalibrationData.cs 3a078d515d 1.修复ui灯闪烁错误bug 1 年之前
ModuleName.cs 3cad102221 更新 RT 2 年之前
NiceRobotAction.cs 8d613c7d1f 奈思UI 新版动画 1 年之前
PMLeakCheckResult.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 年之前
PartialPressureResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 2 年之前
PressureType.cs 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 1 年之前
ProcessUnitDefine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 月之前
Recipe.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 11 月之前
RecipeResult.cs 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 11 月之前
RobotArmPan.cs b2e38c8ff3 Add unuploaded files 1 年之前
RtState.cs 253fcb8be2 add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator 10 月之前
SCValue.cs 3cad102221 更新 RT 2 年之前
SerializeHelper.cs c671c999c0 ui界面优化 11 月之前
SignalTowerItem.cs b2406d6f78 1.添加signalTonwer ui界面 1 年之前
StepItem.cs edb5ad6960 1.添加数据分析 Recipe step功能 1 年之前
SubItem.cs bb33e89998 1,优化UI界面 2 年之前
TM.cs dfc9174ac8 VenusSE TM PM Simulator Update 1 年之前
VATPerformanceResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 2 年之前
ValveType.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 月之前
VenusDevice.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 月之前
VenusMenu.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 1 年之前
Venus_Core.csproj a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 11 月之前
VirgoDevice.cs 9760d40cf7 port simulator 2 年之前