123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129 |
- //using Aitex.Core.RT.Routine;
- //using Aitex.Core.RT.SCCore;
- //using Venus_RT.Devices;
- //using Aitex.Core.Util;
- //using MECF.Framework.Common.Equipment;
- //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
- //using System.Diagnostics;
- //using System.Collections.Generic;
- //using Venus_Core;
- //using Venus_RT.Modules;
- //namespace Venus_RT.Modules.PMs
- //{
- // class LLPlaceRoutine : PMRoutineBase, IRoutine
- // {
- // private enum LLPlaceStep
- // {
- // kPrepareTransfer,
- // kExtend,
- // KDelay2s,
- // kPinUp,
- // kRetract,
- // kPostTransfer,
- // kOpenFastPump,
- // }
- // private int _prepareTransferTimeout = 120;
- // private int _transferWaferTimeout = 120;
- // public LLPlaceRoutine(JetPMBase chamber) : base(chamber)
- // {
- // Name = "PlaceWafer";
- // }
- // public RState Start(params object[] objs)
- // {
- // _prepareTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.PrepareTransferTimeout");
- // _transferWaferTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.TransferWaferTimeout");
- // if (WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.PMA, 0))
- // {
- // Stop("腔体里面有 Wafer,不能执行放片动作");
- // return RState.Failed;
- // }
- // if (WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.LLA, 0))
- // {
- // Stop("Loadlock 里面没有 Wafer,不能执行放片动作");
- // return RState.Failed;
- // }
- // if (RouteManager.IsATMMode)
- // {
- // if (!_chamber.IsATM || !_chamber.IsATMLoadlock)
- // {
- // Stop("腔体非大气状态,请先执行充气动作");
- // return RState.Failed;
- // }
- // }
- // else
- // {
- // if (!_chamber.IsVAC || !_chamber.IsVACLoadLock)
- // {
- // Stop("腔体非真空状态,请先执行抽真空动作");
- // return RState.Failed;
- // }
- // }
- // _chamber.OpenValve(ValveType.FastPump, false);
- // _chamber.OpenValve(ValveType.LoadlockPumping, false);
- // Reset();
- // return Runner.Start(Module, Name);
- // }
- // public RState Monitor()
- // {
- // Runner.Run(LLPlaceStep.kPrepareTransfer, PrepareTransfer, IsPrepareReady, _prepareTransferTimeout * 1000)
- // .Run(LLPlaceStep.kExtend, _chamber.ExtendWafer, () => { return _chamber.IsLoadlockArmExtend; }, _transferWaferTimeout * 1000)
- // .Delay(LLPlaceStep.KDelay2s, 2000)
- // .Run(LLPlaceStep.kPinUp, SetLiftPinUp, () => { return _chamber.CheckLiftUp(); })
- // .Run(LLPlaceStep.kRetract, _chamber.RetractWafer, () => { return _chamber.IsLoadlockArmRetract; }, _transferWaferTimeout * 1000)
- // .Run(LLPlaceStep.kPostTransfer, PostTransfer, IsPostTransferReady, _prepareTransferTimeout * 1000)
- // .End(LLPlaceStep.kOpenFastPump, OpenFastPump, _delay_50ms);
- // return Runner.Status;
- // }
- // private bool PrepareTransfer()
- // {
- // _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Down, out _);
- // _chamber.SetSlitDoor(true, out _);
- // return true;
- // }
- // private bool IsPrepareReady()
- // {
- // return _chamber.CheckLiftDown() && _chamber.CheckSlitDoorOpen();
- // }
- // private bool PostTransfer()
- // {
- // WaferManager.Instance.WaferMoved(ModuleName.LLA, 0, ModuleName.PMA, 0);
- // _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Down, out _);
- // _chamber.SetSlitDoor(false, out _);
- // return true;
- // }
- // private bool IsPostTransferReady()
- // {
- // return _chamber.CheckLiftDown() && _chamber.CheckSlitDoorClose();
- // }
- // private bool SetLiftPinUp()
- // {
- // return _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Up, out _);
- // }
- // private bool OpenFastPump()
- // {
- // if (!RouteManager.IsATMMode)
- // _chamber.OpenValve(ValveType.FastPump, true);
- // return true;
- // }
- // public void Abort()
- // {
- // }
- // }
- //}
|