LLPlaceRoutine.cs 4.5 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129
  1. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  2. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  3. //using Venus_RT.Devices;
  4. //using Aitex.Core.Util;
  5. //using MECF.Framework.Common.Equipment;
  6. //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
  7. //using System.Diagnostics;
  8. //using System.Collections.Generic;
  9. //using Venus_Core;
  10. //using Venus_RT.Modules;
  11. //namespace Venus_RT.Modules.PMs
  12. //{
  13. // class LLPlaceRoutine : PMRoutineBase, IRoutine
  14. // {
  15. // private enum LLPlaceStep
  16. // {
  17. // kPrepareTransfer,
  18. // kExtend,
  19. // KDelay2s,
  20. // kPinUp,
  21. // kRetract,
  22. // kPostTransfer,
  23. // kOpenFastPump,
  24. // }
  25. // private int _prepareTransferTimeout = 120;
  26. // private int _transferWaferTimeout = 120;
  27. // public LLPlaceRoutine(JetPMBase chamber) : base(chamber)
  28. // {
  29. // Name = "PlaceWafer";
  30. // }
  31. // public RState Start(params object[] objs)
  32. // {
  33. // _prepareTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.PrepareTransferTimeout");
  34. // _transferWaferTimeout = SC.GetValue<int>($"{Module}.TransferWaferTimeout");
  35. // if (WaferManager.Instance.CheckHasWafer(ModuleName.PMA, 0))
  36. // {
  37. // Stop("腔体里面有 Wafer,不能执行放片动作");
  38. // return RState.Failed;
  39. // }
  40. // if (WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.LLA, 0))
  41. // {
  42. // Stop("Loadlock 里面没有 Wafer,不能执行放片动作");
  43. // return RState.Failed;
  44. // }
  45. // if (RouteManager.IsATMMode)
  46. // {
  47. // if (!_chamber.IsATM || !_chamber.IsATMLoadlock)
  48. // {
  49. // Stop("腔体非大气状态,请先执行充气动作");
  50. // return RState.Failed;
  51. // }
  52. // }
  53. // else
  54. // {
  55. // if (!_chamber.IsVAC || !_chamber.IsVACLoadLock)
  56. // {
  57. // Stop("腔体非真空状态,请先执行抽真空动作");
  58. // return RState.Failed;
  59. // }
  60. // }
  61. // _chamber.OpenValve(ValveType.FastPump, false);
  62. // _chamber.OpenValve(ValveType.LoadlockPumping, false);
  63. // Reset();
  64. // return Runner.Start(Module, Name);
  65. // }
  66. // public RState Monitor()
  67. // {
  68. // Runner.Run(LLPlaceStep.kPrepareTransfer, PrepareTransfer, IsPrepareReady, _prepareTransferTimeout * 1000)
  69. // .Run(LLPlaceStep.kExtend, _chamber.ExtendWafer, () => { return _chamber.IsLoadlockArmExtend; }, _transferWaferTimeout * 1000)
  70. // .Delay(LLPlaceStep.KDelay2s, 2000)
  71. // .Run(LLPlaceStep.kPinUp, SetLiftPinUp, () => { return _chamber.CheckLiftUp(); })
  72. // .Run(LLPlaceStep.kRetract, _chamber.RetractWafer, () => { return _chamber.IsLoadlockArmRetract; }, _transferWaferTimeout * 1000)
  73. // .Run(LLPlaceStep.kPostTransfer, PostTransfer, IsPostTransferReady, _prepareTransferTimeout * 1000)
  74. // .End(LLPlaceStep.kOpenFastPump, OpenFastPump, _delay_50ms);
  75. // return Runner.Status;
  76. // }
  77. // private bool PrepareTransfer()
  78. // {
  79. // _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Down, out _);
  80. // _chamber.SetSlitDoor(true, out _);
  81. // return true;
  82. // }
  83. // private bool IsPrepareReady()
  84. // {
  85. // return _chamber.CheckLiftDown() && _chamber.CheckSlitDoorOpen();
  86. // }
  87. // private bool PostTransfer()
  88. // {
  89. // WaferManager.Instance.WaferMoved(ModuleName.LLA, 0, ModuleName.PMA, 0);
  90. // _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Down, out _);
  91. // _chamber.SetSlitDoor(false, out _);
  92. // return true;
  93. // }
  94. // private bool IsPostTransferReady()
  95. // {
  96. // return _chamber.CheckLiftDown() && _chamber.CheckSlitDoorClose();
  97. // }
  98. // private bool SetLiftPinUp()
  99. // {
  100. // return _chamber.SetLiftPin(MovementPosition.Up, out _);
  101. // }
  102. // private bool OpenFastPump()
  103. // {
  104. // if (!RouteManager.IsATMMode)
  105. // _chamber.OpenValve(ValveType.FastPump, true);
  106. // return true;
  107. // }
  108. // public void Abort()
  109. // {
  110. // }
  111. // }
  112. //}