| .. |
|
EFEM
|
a4dfe941cc
Debug EFEM device driver.
|
2 vuotta sitten |
|
EPD
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
2 vuotta sitten |
|
IODevices
|
045eae5c75
1.sequence和recipe修改日志输出格式
|
2 vuotta sitten |
|
TM
|
8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
|
2 vuotta sitten |
|
AIRSYSChiller.cs
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
2 vuotta sitten |
|
AdTecRF.cs
|
546436c2c7
模拟器读取chamber bug修改
|
2 vuotta sitten |
|
AdixenTurboPump.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
CometRF.cs
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
2 vuotta sitten |
|
DataDefine.cs
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
2 vuotta sitten |
|
DeviceManager.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
ESC5HighVoltage.cs
|
a6ac889dc6
底部按钮添加背景色
|
2 vuotta sitten |
|
EdwardsPump.cs
|
7a6556869f
1.整理主界面UI
|
2 vuotta sitten |
|
FinsPlc.cs
|
2b930e56b9
Log output for exception.
|
2 vuotta sitten |
|
JetEfem.cs
|
5fc13b3f0c
New Efem design
|
2 vuotta sitten |
|
JetKepler2300PM.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
JetPMBase.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
2 vuotta sitten |
|
JetVenusPM.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
2 vuotta sitten |
|
PendulumValve.cs
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
2 vuotta sitten |
|
PlasmaController.cs
|
75710d35d8
RF Match.
|
2 vuotta sitten |
|
SMCChiller.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
SkyPump.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
VirgoSignalTower.cs
|
7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
|
2 vuotta sitten |
lixiang
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式