Начало Каталог Помощ
Регистрация Вход
JetPlasma
/
Kepler-Release
Наблюдаван 2
Харесван 0
Разклонения 0
Файлове Задачи 0 Заявки за сливане 0 Уики
ИН на ревизия: 25f21eaf52
Клонове Маркери
Kepler-Release
/
Venus
/
Venus_RT
/
Modules
/
EFEM
lixiang d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 преди 1 година
..
EFEMAlignRoutine.cs c5ba2fb197 Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer. преди 1 година
EfemEntity.cs d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 преди 1 година
EfemHomeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. преди 1 година
EfemPickRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. преди 1 година
EfemPlaceRoutine.cs 96661cadab 修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug преди 1 година
EfemSwapRoutine.cs e61f018b66 Manual Return wafer while running cycle. преди 1 година