intern02 109e1ee3a2 Added SE Robot movement, updated and uploaded VenusSeOperationOverViewModel.cs, VenusSeOperationOverView.xaml, SERobot.cs, HongHuVR.cs, SETMEntity.cs, Generic, SERobot1.xaml, SERobot2.xaml . 1 рік тому
..
EFEM ec2f97e62d enhance log. 1 рік тому
LLs c3bef13a6e Enhance Auto pump/vent algorithm. 1 рік тому
LPs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 рік тому
PMs f8c50b602a 修复Tolerance对流气不开阀的bug 1 рік тому
SMIF 49815fb19f add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle 1 рік тому
Schedulers d714771195 fix atm prepare pressure bugs. 1 рік тому
TM 109e1ee3a2 Added SE Robot movement, updated and uploaded VenusSeOperationOverViewModel.cs, VenusSeOperationOverView.xaml, SERobot.cs, HongHuVR.cs, SETMEntity.cs, Generic, SERobot1.xaml, SERobot2.xaml . 1 рік тому
VCE dc38e4a4a8 fix bug in Venus SE Swap 1 рік тому
AutoCycle.cs 694c2524ad enhance the pause function and fix the atm prepare pressure bugs. 1 рік тому
Autotransfer_LP_FA.cs a5542b5c2c add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule 1 рік тому
EntityTaskBase.cs 5b037046f9 Add TM/LL modules. 2 роки тому
ManualTransfer.cs 501997ac38 TM/EFEM robot single arm option. 1 рік тому
ResourceMonitor.cs 0ed42d17d1 fix bugs for WaferOffset 1 рік тому
RouteManager.cs dbb753dd44 Pause functionality. 1 рік тому
SEManualTransfer.cs 0728fdc25a Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View 1 рік тому
SETMCycle.cs 49815fb19f add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle 1 рік тому
TMCycle.cs a5542b5c2c add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule 1 рік тому