| .. |
|
Account
|
53e362a33e
update
|
před 3 roky |
|
PM
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
před 1 rokem |
|
TM
|
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
|
před 1 rokem |
|
ClusterGemModel.xml
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
před 2 roky |
|
DBModel.sql
|
ca6cc2acfb
Add WaferOffset related pages, drivers, acquisition logic, and simulator.
|
před 2 roky |
|
DeviceModel.xsd
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
před 2 roky |
|
EventDefine.xml
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
před 3 roky |
|
IoProviderConfig.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
|
LogDefine.json
|
ec2f97e62d
enhance log.
|
před 1 rokem |
|
RecipeFormat.xml
|
9760d40cf7
port simulator
|
před 3 roky |
|
SESequenceFormat.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
|
SequenceFormat.xml
|
7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
|
před 2 roky |
|
SignalTower.xml
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
před 2 roky |
|
System.sccfg
|
818383115c
UI优化
|
před 1 rokem |
|
VenusPreProcess.py
|
64c7ef574e
log
|
před 3 roky |
zhouhr
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View