zhouhr 4e783f1934 fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis преди 10 месеца
..
VenusEntity 4e783f1934 fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis преди 10 месеца
MFCoolingRoutine.cs 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 преди 11 месеца
MFHomeRoutine.cs ed38ed5c95 1.check load function bugs fix преди 1 година
MFLeakCheckRoutine.cs 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. преди 1 година
MFPMExtendRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPMPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPMPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPMRetractRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPMSwapRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFPlaceRoutine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check преди 10 месеца
MFPumpRoutine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check преди 10 месеца
MFPurgeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. преди 1 година
MFSwapRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 11 месеца
MFVentRoutine.cs 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 преди 11 месеца
TMEntity.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check преди 10 месеца