2024/08/23- Log Id 详细区分

1-999 System信息

1000-1999 PM信息
{
  1000-1099   旧版设备一般信息，PM在此基础上扩展
  1100-1119   RF
  1120-1139   Match
  1140-1159   干泵
  1160-1179   分子泵
  1180-1199   钟摆阀
  1200-1219   RFBox
  1220-1239   MFC
  1240-1259   IOHighTemperatureHeater
  1260-1279   IOMAGNET
}

2000-2999 TM信息
3000-3999
4000-4999 EFEM信息
5000-5999 FA
6000-6999 LL信息