 lixiang
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6ec37ea42c
1.与Venus分开，删除冗余代码
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3 月之前 |
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lixiang
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6447434c5b
Venus代码删除
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3 月之前 |
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lixiang
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2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
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3 月之前 |
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lixiang
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38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
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4 月之前 |
 zhouhr
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4666252058
补充recipe界面不显示heliumpump的问题
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5 月之前 |
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zhouhr
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b6309f712c
upload for Venus SE/DE
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5 月之前 |
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lixiang
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10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
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5 月之前 |
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lixiang
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a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
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6 月之前 |
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lixiang
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7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
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6 月之前 |
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lixiang
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ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
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7 月之前 |
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lixiang
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79ffe0c064
1.分开Kepler与Venus SequenceView界面
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8 月之前 |
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lixiang
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33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
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8 月之前 |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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8 月之前 |
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lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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10 月之前 |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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10 月之前 |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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10 月之前 |
 hecl
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c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
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10 月之前 |
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hecl
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0f361d7301
1.Fix SETM robot ArmExtend bugs
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11 月之前 |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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11 月之前 |
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hecl
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ca830385e4
Fix bug
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11 月之前 |
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hecl
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996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
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11 月之前 |
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lixiang
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3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
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11 月之前 |
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hecl
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fedcc95273
1.Venus DE process enhance
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11 月之前 |
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hecl
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7fe748b93a
1.Add Venus DE processdefine content
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11 月之前 |
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hecl
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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1 年之前 |
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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1 年之前 |
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lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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1 年之前 |
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lixiang
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f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
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1 年之前 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 年之前 |
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lixiang
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87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
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1 年之前 |
