 lixiang
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add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
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hace 5 meses |
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lixiang
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ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
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hace 7 meses |
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lixiang
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33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
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hace 8 meses |
 sangwq
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4259958c23
Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function.
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hace 1 año |
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sangwq
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c5ba2fb197
Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer.
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hace 1 año |
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sangwq
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236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
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hace 1 año |
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sangwq
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3e445737a6
Align functions.
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hace 1 año |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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hace 1 año |
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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hace 1 año |
 yangdb
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5987f80b26
1.增加sequence控件以及sequence内容编辑保存
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hace 1 año |
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lixiang
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a728a5bab5
添加修改配置文件功能模块
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hace 2 años |
