 lixiang
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
8 月之前 |
|
lixiang
|
d6b8d32004
1.修复不能跑atm模式的bug
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
3dd6dc62ed
修复OperationView PM显示错误bug
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
e29f6e8e46
1.优化UI界面性能
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
5e9ddc918f
优化SequenceView界面
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
477c4954ad
1.添加CarrierId
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
|
11 月之前 |
|
lixiang
|
b67769ec2c
ui优化
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
65d80057c2
ui优化
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
df2593530e
1.提交cycle功能
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
e81e8a5c12
IoSensor和管路 优化
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
c671c999c0
ui界面优化
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
7513d2e586
TM View 添加wafer
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
|
1 年之前 |
 hecl
|
0a8ce7454b
Fix exception caused by SeTMView,SETMOperationView
|
1 年之前 |
|
hecl
|
6c7190339c
Fix exception caused by OperationOverView,TMOperationView,TopView,TMView
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
6d84fd8e38
修复UI LP2/LP3不能工作 bug
|
1 年之前 |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
1 年之前 |
