 zhouhr
|
f5a709d29f
enhance ReturnWafer for VenusSE && fix bugs in VCE Routine, HongHuTM
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
724b0ca304
add ReturnWafer for Venus SE.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a83b38ac11
Add SE VCE|TM FsmState in TopView && Fix bug of CycledWafer number in SE Cycle && Add VCE Goto slot in SwapRoutine
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
b3948aca8e
Update driver of HongHuVce,log in LoadPrepareRoutine && fix VenusSeOperationOverView
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
před 1 rokem |
