 lixiang
|
f3bd6b016b
添加部分efem功能
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
a8582aeee2
修复配置文件不能修改bug
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
d3c29df415
Venus修复传片bug
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
530ddcbae7
优化topview界面
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
9231cab4b9
1.修改topView ui
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 jaar geleden |
|
lixiang
|
a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
|
2 jaren geleden |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
2 jaren geleden |
|
lixiang
|
93a863cbc0
overView流气功能提交
|
2 jaren geleden |
|
lixiang
|
081ab4daa5
添加多个UI界面
|
2 jaren geleden |
