 zhouhr
|
4e783f1934
fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis
|
10 місяців тому |
|
zhouhr
|
dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
|
10 місяців тому |
|
zhouhr
|
253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator
|
10 місяців тому |
|
zhouhr
|
2e70549fc8
fix bug in StationNumber(Aligner1)
|
11 місяців тому |
|
zhouhr
|
d425906355
add Cassette arrive, leave, map with all empty or full in VCE's Simulator && Change the logic of control SlitDoor in PM && Change SE Pick Place Swap DoublePick for PM & VCE && fix some bug in View for Venus VCE && DE UI Design.
|
11 місяців тому |
 sangwq
|
75b6c4548e
submit new venus routing algorithm.
|
11 місяців тому |
|
zhouhr
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
11 місяців тому |
|
zhouhr
|
9b93f58d68
Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM
|
11 місяців тому |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
11 місяців тому |
|
zhouhr
|
5836f3ed1c
fix bugs in ShareDrive && add Online in SETM
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
12fa756895
1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing
|
1 рік тому |
 hecl
|
d15749f5b1
1.fix VenusSE show chiler temp bugs
|
1 рік тому |
|
hecl
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
1 рік тому |
|
hecl
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
984e634945
1. Add check before Open VCE Outer Door based on ATM sensor and OutDoorOpenPressure
|
1 рік тому |
 intern02
|
d308f9a645
Improved TM Transfer and Robot Arm, updated and uploaded SeTMViewModel.cs、VenusSeOperationOverView.cs、HongHuVR.cs、SETMEntity.cs、Generic、SERobot.cs、SEMFPMRetractRoutine.cs、SEMFPMExtendRoutine.cs.
|
1 рік тому |
|
intern02
|
109e1ee3a2
Added SE Robot movement, updated and uploaded VenusSeOperationOverViewModel.cs, VenusSeOperationOverView.xaml, SERobot.cs, HongHuVR.cs, SETMEntity.cs, Generic, SERobot1.xaml, SERobot2.xaml .
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
1b999083c8
add WaferTransfer for VenusSE && fix bug in VceControl as param is null && fix bug in Pick,Place as target slot is negative.
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
a83b38ac11
Add SE VCE|TM FsmState in TopView && Fix bug of CycledWafer number in SE Cycle && Add VCE Goto slot in SwapRoutine
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
1c44773767
Add missing files
|
1 рік тому |
