Историја ревизија

Аутор SHA1 Порука Датум
  sangwq 0a0308458e Enable drag wafer while module offline. пре 1 година
  sangwq 74c52de151 Enhance throughput. пре 1 година
  sangwq 9144014f90 enhance the routing algorithm and module online/offline control logic. пре 1 година
  sangwq 501997ac38 TM/EFEM robot single arm option. пре 1 година
  sangwq c223835b1e enhance AutoCycle module. пре 1 година
  sangwq 2fb8490f3a Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue. пре 1 година
  sangwq ff17e9c447 develop autycylce/manualmove module. пре 1 година
  sangwq 8f9b95ae8f Develop transfer cycle. пре 1 година
  sangwq d900c241bd 开发 AutoCycle 模块, 进行中 пре 1 година
  sangwq 8826cc0cd0 开发 AutoCycle 模块, 增加TMRobot module id. пре 1 година
  lixiang 530ddcbae7 优化topview界面 пре 2 година
  sangwq ed992dd631 Enhance the Log Info пре 2 година
  sangwq b741650da1 TM Cycle ready. пре 2 година
  sangwq 66557b65bb TMCycle not finished. пре 2 година
  sangwq 44ec74603f TM Transfer пре 2 година