 sangwq
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0a0308458e
Enable drag wafer while module offline.
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hace 1 año |
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sangwq
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74c52de151
Enhance throughput.
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hace 1 año |
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sangwq
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9144014f90
enhance the routing algorithm and module online/offline control logic.
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hace 1 año |
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sangwq
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501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
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hace 1 año |
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sangwq
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c223835b1e
enhance AutoCycle module.
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hace 1 año |
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sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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hace 1 año |
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sangwq
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ff17e9c447
develop autycylce/manualmove module.
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hace 1 año |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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hace 1 año |
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sangwq
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d900c241bd
开发 AutoCycle 模块， 进行中
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hace 1 año |
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sangwq
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8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
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hace 1 año |
 lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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hace 2 años |
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sangwq
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ed992dd631
Enhance the Log Info
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hace 2 años |
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sangwq
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b741650da1
TM Cycle ready.
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hace 2 años |
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sangwq
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66557b65bb
TMCycle not finished.
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hace 2 años |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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hace 2 años |
