 lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
пре 1 година |
 zhouhr
|
883eb268eb
add TM Robot Home && delete PrefixPath of the selected recipe in sequence
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
00d42e8c17
efem动画优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
93b4531b7b
robot 不能home问题提交
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
пре 1 година |
