 lixiang
|
ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
|
9 ay önce |
|
lixiang
|
df2593530e
1.提交cycle功能
|
9 ay önce |
|
lixiang
|
401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
|
9 ay önce |
|
lixiang
|
e81e8a5c12
IoSensor和管路 优化
|
10 ay önce |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
10 ay önce |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
11 ay önce |
|
lixiang
|
8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
|
11 ay önce |
|
lixiang
|
3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
|
11 ay önce |
|
lixiang
|
e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
|
1 yıl önce |
 hecl
|
6c7190339c
Fix exception caused by OperationOverView,TMOperationView,TopView,TMView
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
1 yıl önce |
 chenkui
|
5740a76224
1、ControlJobInfo类增加了SequenceNameList,解决LoadPort UI中Sequence显示问题
|
1 yıl önce |
|
chenkui
|
4359bcf776
1、修复了AbortJob无法选择Sequence的问题
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
f74076f457
1.修复LP3不能create job，ui界面显示错误的bug
|
1 yıl önce |
|
chenkui
|
5cf3c54d79
1、RouteManager增加了StopJob,AbortJob等
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
5e8bf0ff14
1.重绘window窗体
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
038bcab52c
Operation界面添加PreCleanRecipe/PostCleanRecipe选择功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
410df462f5
从AutoCycle获取已经运行job做Pause功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
c3f0679404
UI界面添加Pause/Resume功能
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 yıl önce |
 zhouhr
|
187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
|
1 yıl önce |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 yıl önce |
