 lixiang
|
c671c999c0
ui界面优化
|
před 11 měsíci |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
před 11 měsíci |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
před 11 měsíci |
|
lixiang
|
7513d2e586
TM View 添加wafer
|
před 11 měsíci |
|
lixiang
|
8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
|
před 11 měsíci |
|
lixiang
|
e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
|
před 1 rokem |
 hecl
|
0a8ce7454b
Fix exception caused by SeTMView,SETMOperationView
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
6c7190339c
Fix exception caused by OperationOverView,TMOperationView,TopView,TMView
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
6d84fd8e38
修复UI LP2/LP3不能工作 bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e2cd173579
1.添加Kepler2200 流气 Tolerance
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ed84923822
OverView界面Abort绑定System.IsBusy
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5e8bf0ff14
1.重绘window窗体
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
038bcab52c
Operation界面添加PreCleanRecipe/PostCleanRecipe选择功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
cfed419b0a
解决ValueTuple版本冲突
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c3f0679404
UI界面添加Pause/Resume功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
|
před 1 rokem |
