 sangwq
|
c4864f5546
debug gas verification.
|
2 vuotta sitten |
 lixiang
|
60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
e58407db65
Purge Counter.
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
b2c09224e9
代码合并
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
888ad3ea20
revolve conflict.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
a244b205b9
Gas Flow and RF Power routine.
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
c3154ba629
wafer manager.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
2b930e56b9
Log output for exception.
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
6579ef1d85
解决冲突
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
3b8277256c
1.recipeHead添加expand
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
4e8a55f733
Endpoint Module.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
f03c15cdaa
remove old epd.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
f8cec9a940
epd files missing.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
0df76f75a5
obsolete output folder
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
5e89c4da73
优化recipe代码
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
0050803370
update process Module
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
ee80e1676c
解决冲突
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
da4e6f6a4e
Recipe功能完善
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
5d23b42797
recipe
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
f4683476ce
添加Output
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
f3ae3aeca8
添加recipe添加修改界面
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
65b982deaf
优化漏气check界面
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
2 vuotta sitten |
