 hecl
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
 lixiang
|
95f5be1ca4
1.修复iomfc writemode的合并冲突bug
|
преди 1 година |
 zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
преди 1 година |
 sangwq
|
d89a4c81f9
Enhance Routing algorithm and simulator configure file path.
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
75710d35d8
RF Match.
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
ffda76b488
修改rt与ui交互功能
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
преди 2 години |
