 hecl
|
c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
|
před 11 měsíci |
 zhouhr
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
před 11 měsíci |
|
zhouhr
|
9b93f58d68
Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM
|
před 11 měsíci |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
před 11 měsíci |
|
zhouhr
|
5836f3ed1c
fix bugs in ShareDrive && add Online in SETM
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
e1a8bb6663
1.remove SETM mbar to mtor
|
před 1 rokem |
|
hecl
|
d0f35564a3
1.Venus SE VCE&TM change to Single signal mode(NO VAC signal)
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
984e634945
1. Add check before Open VCE Outer Door based on ATM sensor and OutDoorOpenPressure
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
e187642592
commit Venus SE TM IO and DeviceModel&& PM view.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
f5a709d29f
enhance ReturnWafer for VenusSE && fix bugs in VCE Routine, HongHuTM
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
08029e238d
update Venus SE pick place && drivers of HongHu deivce && ui
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
1c44773767
Add missing files
|
před 1 rokem |
