提交歷史

作者 SHA1 備註 提交日期
  lixiang dbf06a2134 添加TM Operation界面 1 年之前
  lixiang a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 1 年之前
  lixiang fce40bc900 1.解决分子泵/chiller在线显示bug 1 年之前
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 1 年之前
  lixiang c060fde154 1.Recipe Edit 添加配置功能 1 年之前
  lixiang 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 2 年之前
  lixiang 280432bb82 1.TM传片动画制作,UI界面优化 2 年之前
  lixiang a48b743e88 1.完成PartialPressure功能 2 年之前
  lixiang 39fe214261 1.完善PartialPressure 功能 2 年之前
  lixiang bb33e89998 1,优化UI界面 2 年之前
  lixiang ccb4444fa8 添加部分ui按钮控制rt功能 2 年之前
  lixiang 65b982deaf 优化漏气check界面 2 年之前
  lixiang 081ab4daa5 添加多个UI界面 2 年之前