 sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
 lixiang
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62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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lixiang
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ffda76b488
修改rt与ui交互功能
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lixiang
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ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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2b930e56b9
Log output for exception.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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3222fa143a
Process module and Interlock .
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sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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sangwq
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af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
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lixiang
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782eafc783
1.添加log配置文件功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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9760d40cf7
port simulator
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
