Историја ревизија

Аутор SHA1 Порука Датум
  sangwq d89a4c81f9 Enhance Routing algorithm and simulator configure file path. пре 1 година
  lixiang dbf06a2134 添加TM Operation界面 пре 1 година
  lixiang 39fe214261 1.完善PartialPressure 功能 пре 2 година
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 пре 2 година
  sangwq 75710d35d8 RF Match. пре 2 година
  lixiang ffda76b488 修改rt与ui交互功能 пре 2 година
  lixiang ccb4444fa8 添加部分ui按钮控制rt功能 пре 2 година
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. пре 2 година
  sangwq 8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done. пре 2 година