 lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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hace 1 año |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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hace 1 año |
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lixiang
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179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
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hace 1 año |
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lixiang
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f3bd6b016b
添加部分efem功能
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hace 1 año |
 sangwq
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aaf8372896
兼容 两种 endpoint, 未完成
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hace 1 año |
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sangwq
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16f00701e5
Redesign Recipe module.
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hace 1 año |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hace 1 año |
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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hace 1 año |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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hace 1 año |
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sangwq
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c3154ba629
wafer manager.
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hace 2 años |
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sangwq
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4e8a55f733
Endpoint Module.
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hace 2 años |
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sangwq
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3222fa143a
Process module and Interlock .
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hace 2 años |
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sangwq
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d8e5f1dc2c
2022 last update
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hace 2 años |
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sangwq
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0050803370
update process Module
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hace 2 años |
